FUJI NXTII 机械手册_.pdf - 第91页

QD145-04 4. 传感器配置图 NXT Ⅱ机械手册 69 4.13 料盘单元 -L 4.13.1 安全门 No. 地址信号名传感器名 1 IN00 上部安全门关闭确认 - 2 IN01 后面安全门关闭确认 - 3 IN02 下部安全门关闭确认 - 4 IN04 紧急停止 - 5 IN1E 供应结束 SW - 1 2 5 3 4

4. 传感器配置图 QD145-04

68 NXT Ⅱ机械手册

4.12 混合校正单元传感器

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01MEC-0843S

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No. 地址信号名传感器名

1 RX00C 混合校正吸取确认 Hybrid calibration pick

up check

2 RX006 混合校正吸取真空 ON -

3 RX007 混合校正吸取真空 OFF -

QD145-04 4. 传感器配置图

NXT Ⅱ机械手册 69

4.13 料盘单元 -L

4.13.1 安全门

No. 地址信号名传感器名

1 IN00 上部安全门关闭确认 -

2 IN01 后面安全门关闭确认 -

3 IN02 下部安全门关闭确认 -

4 IN04 紧急停止 -

5 IN1E 供应结束 SW -

4. 传感器配置图 QD145-04

70 NXT Ⅱ机械手册

4.13.2 料盘塔

No. 地址信号名传感器名

1 IN1D 托架夹紧关闭确认 -

2 IN1C 托架夹紧打开确认 -

3 IN15 托架下部交接关闭确认 1-2 -

4 IN14 托架下部交接打开确认 1-2 -

5 IN27 空料盘排出确认 -

6 IN28 料盘高度确认 1 -

7 IN29 料盘高度确认 2 -

8 IN2B 料盘收存确认 -

9 IN2C 上部交接托架有无 -

10 IN2D 下部交接托架有无 -

11 OUT20 塔部托架夹紧 -

12 OUT21 塔部托架松开 -

13 OUT25 塔下部托架交接开关 -

14 OUT1D 上部门部 LED 显示 -

15 OUT1E 下部门部 LED 显示 -

NXTMTU019a