CM101操作手册.pdf - 第111页
CM101-D 操作手册 4.2 基板识别示教 Page 4-7 10. 按 [ 完成 ] 。 • 自动保存数据。 11. 按操作面板的 + [ 次识别位置 ] 。 • 移向下一基板识别标记 位置，自动进行识别动 作。 12. 按 [ 完成 ] 。 • 自动保存数据。 ∗ 在基板识别上选择 [ABC 点 ] 、 [ABCD 点 ] 时， 请 重复步骤 11. ~ 12. ，同 时 对 C 点和 D 点进行示 教。 下一页 EJM5B -…
CM101-D
操作手册
4.2
基板识别示教
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5.
按
[
基板识别
]
。
•
将显示
<
基板识别
>
画面。
6.
将基板设置在基板搬入口。
7.
按操作面板的
+
[
示教开始
]
。
•
搬入基板。
8.
打开安全盖，将基板押紧在基板止动器和
固定导轨
(
前侧
)
。
9.
关闭安全盖后，按
[
完成
]
。
•
支撑板将会上升以使基板固定，并自动进行识
别动作。
∗
请在示教画面调整基板标记的位置。
下一页
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操作手册
4.2
基板识别示教
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10.
按
[
完成
]
。
•
自动保存数据。
11.
按操作面板的
+
[
次识别位置
]
。
•
移向下一基板识别标记位置，自动进行识别动
作。
12.
按
[
完成
]
。
•
自动保存数据。
∗
在基板识别上选择
[ABC
点
]
、
[ABCD
点
]
时，请
重复步骤
11. ~ 12.
，同 时 对
C
点和
D
点进行示
教。
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操作手册
4.2
基板识别示教
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13.
按操作面板的
+
[
识别测试
]
。
•
确认识别动作是否正常。
14.
按功能键的
。
15.
按操作面板的
+
[
是
]
。
•
排出基板，示教结束。
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