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193-1 100 JUKYX 3-28 “段取”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確認し ます。 手順 (1) “画面展開”に従い、 “基板移載”画面を表示させる。 画面展開 F1C24 (2) 前工程より基板を搬入する。 手差しによる基板の搬入を行う場合、本章 “4.1.1 基板の手差し手 順” をご参照ください。 (3) イメージ表示されてい…
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（6） ノズルストッカシャッタをスライドさせ、使用する吸着ノズルをすべ
てノズルストッカにセットする。
この部分を強く握ると破損しますので、
200 g 以上の力を加えないでください。
吸着ノズル
ノズルストッカシャッタをスライドさせ、
吸着ノズルを取付ける
正しい取付け
誤った取付け
吸着ノズルを置いた状態
ノズルストッカシャッタ
F1C18-02
注
意
（7） ノズルストッカを装置に取付ける。
(8) [ ノズル交換 ] ボタンを押す。
ノート
ノズルストッカ増設 ( オプション ) を搭載した装置では、機種切替
後の吸着ノズルをノズルストッカ増設 ( オプション ) に準備してお
くことにより、ノズル収納とノズル装着が連続して動作します。
(9) [ 作動 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを押
して、装着ヘッドに吸着ノズルを装着する。
(10)“ノズル交換”画面で、[ ノズル確認 ] ボタンを押し、操作パネルの
[START] ボタンを押して正しいノズルが装備されているか確認する。
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“段取”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確認し
ます。
手順
(1) “画面展開”に従い、“基板移載”画面を表示させる。
画面展開
F1C24
(2) 前工程より基板を搬入する。
手差しによる基板の搬入を行う場合、本章“4.1.1 基板の手差し手
順”をご参照ください。
(3) イメージ表示されている位置決めコンベア L のブロックボタンを押し、
10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを押し、基板を移載する。
(4) 基板が正常に移載でき、移載時に引っかかりや落下しないことを確認
する。
(5) “基板位置決め L”の [ 実行 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネル
の [START] ボタンを押す。
( バックアップベースが上昇します。)
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(6) 画面下部にある [ カバー ] ロックスイッチを押し、スイッチを消灯さ
せる。( 開閉カバーロックが解除されます。)
ｶﾊﾞｰ
ｶﾊﾞｰ
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(7) 開閉カバーを開く。
(8) 基板を軽く指で押し、バックアップピンの位置に問題がないことを確
認する。
(9) 開閉カバーを閉じる。