DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第412页
14-42 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 14.3.8.1. 基准照相机测量 基准相机未进行校正时， 剩下的按钮不会被激活。 <1. Fid. Scale Mark Position> 按钮 设置处于 ANC 顶面的 Fiducial Mark 的位置。 用校 正 T oo l 进行 Fidcial Camera Scal…
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Machine Calibration
图
14.16 Head/ Camera/ Light Calibration”
对话框
1:
消息窗
<标准菜单> 领域
选择要Calibration的项目。 按特定项目的按钮则在消息窗依次显示必要的说明。
按照此说明操作，就能完成Calibration。
<双悬臂> 组合框
选择要执行校正的Gantry。
<目标摄像> 组合框
选择将要设定照明值数的照相机。
<亮度…> 按钮
设定已选择的照相机的照明值数。
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
14.3.8.1. 基准照相机测量
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。用校正 Tool进行Fidcial Camera
Scale 校正时，作业前要把校正 Tool放到ANC的 校正 Tool位置。
1:
位置校准试片
下面是用基准相机 Teaching 示教ANC顶面的校正Too1的Reference Fiducial
Mark过程。
1. Mark设置是：选择Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如下
的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动到
5mm
Ø 1.0mm
Ø 1.6mm
5mm
Ø 1.0mm
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Machine Calibration
相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “8”号、Gantry 2时 Mark ID用 “9”号固
定。
2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教固定相机顶面的校正Too1中
心的Reference Fiducial Mark的位置。
3. 位置识别成功后显示如下的画面。正确示教Fiducial Mark的位置后，点击
<Update>按钮会适用变更值。
4. 对Gantry 2也用相同的方法执行校正.
<2. Ref. Fid. Camera Scale(3. Other Fid. Camera Scale)> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤