DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第418页
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Machine Calibration
14.3.8.3. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position)
针对Fix1 Camera的Scale(um/pixel)、Rotation(deg)及Position(mm)实行校准
(Calibration)。为了校准Fix Camera，需要使用另行制作的Fiducial Mark治具。
下面是 Fix Camera 的校正步骤。
1. 点击<5. Fix1 Cam.> 按钮则在消息窗显示 “首先，我们必须把所有吸嘴手动离开
朝向。将Z轴调制低处，点击 [下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸嘴，
拉下磁头的Z轴请点击<下个> 按钮。
为了消除所有喷嘴手动低下头于Z轴'下一步'按钮，连接到头部。
2. 那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
3. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动贴装Calibration Tool后
请点击<下个>按钮。
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
5. 单击<Next>按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果
值。如果需要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
6. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。” 消
息。为了在磁头1号的
吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Camera setting对话框中确认。
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Machine Calibration
备 注 Fix Camera的校准基准值如下。
FOV 35mm (MEGA)
Scale X : 33.1 ~ 36.1(μm/pixel)
Scale Y : 33.1 ~ 36.1(μm/pixel)
FOV 45mm (MEGA)
Scale X : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale Y : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
FOV 35mm (一般)
Scale X : 71.9 ~77.9 (μm/pixel)
Scale Y : 71.9 ~77.9 (μm/pixel)
FOV 45mm (一般)
Scale X : 92.8 ~ 98.8 (μm/pixel)
Scale Y : 92.8 ~ 98.8 (μm/pixel)
14.3.8.4. Fix Camera Thermal Mapping
为了针对设备稼动后丝杆摩擦热所导致的XY坐标系的热变形进行补偿，需要针对
ANC上的一个Fiducial Mark进行示教。
1. 单击<8. Fix Cam. Thermal Org.>按钮。
2. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后单击<Move>按钮，确认基本坐标的位置是否
是ANC的基准标记。