DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第456页
14-86 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 14.3.8.13. Beam Offset Calibration 该校准作业测量基准相机 (Fiducial Camera) 中心与悬臂的 Beam Sensor 之间的距离。 需要测量 Beam Offset 时， 先在系统菜单的 <Head> 选项卡选择需要使用的 Beam S…
14-85
Machine Calibration
12. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在R Axis对话框中确认。
备 注 R-轴偏移的校正基准值如下。
Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.5 ~ 0.5 (deg)
Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.2 ~ 0.2 (deg)
14-86
Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
14.3.8.13. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机(Fiducial Camera)中心与悬臂的Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时，先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 单击<16. Beam Offset>键，实行Beam Offset对话框。
14-87
Machine Calibration
2. 选择需要校准的悬臂。
3. 示教工具选择Fid Cam2(或Fid Cam4)后，利用示教框(jog box)把X-Y轴移动到
可以识别位置的领域(可以利用SMVision判别的地点)。
4. 单击<Get>键，把当前位置保存到<Teaching Position>。
5. 示教工具选择Beam1(或Beam2)，然后利用示教框(jog box)移动到<Teaching
Position>位置。
6. 单击<Get>键，把当前位置保存到<Beam Position>。
7. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后，按照和Gantry1相同的方式实行校准。
8. 单击<Update>键保存设定值。
9. 结果值可以在System Setup菜单的Head Offset对话框查看。
10. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后，按照和Gantry1相同的方式实行校准。
结果值可以在System Setup菜单的R Axis对话框查看。