DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第416页
14-46 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 14.3.8.2. Fiducial Cameras Offset Calibration 测量 G antry 的 Re f. Fiducial Camera 的中心 与 Other Fiducial Camera 的中心之间的距 离。 1) 单击 <Calibration Menu>…
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Machine Calibration
5. 每个悬臂使用2个基准相机时，单击<3. Other Fid. Camera Scale>键后按照
同一方法实行校准(Calibration)。
备 注 (Ref. / Other)基准相机(FOV7.5)的校正基准值如下
ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
14.3.8.2. Fiducial Cameras Offset Calibration
测量Gantry的Ref. Fiducial Camera的中心与Other Fiducial Camera的中心之间的距
离。
1) 单击<Calibration Menu>领域的<4. Fid. Cameras offset>按钮。
2) 按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需
要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
3) 背面使用Fix Camera时，也和正面一样使用同一方法进行校准。
备 注 Other Fid. Camera的校准基准值如下。
Gantry 1
Offset X: -263 ~ -261 (mm)
Offset Y: -1 ~ 1 (mm)
Gantry 2
Offset X: 261 ~ 263 (mm)
Offset Y: -1 ~ 1 (mm)
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Machine Calibration
14.3.8.3. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position)
针对Fix1 Camera的Scale(um/pixel)、Rotation(deg)及Position(mm)实行校准
(Calibration)。为了校准Fix Camera，需要使用另行制作的Fiducial Mark治具。
下面是 Fix Camera 的校正步骤。
1. 点击<5. Fix1 Cam.> 按钮则在消息窗显示 “首先，我们必须把所有吸嘴手动离开
朝向。将Z轴调制低处，点击 [下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸嘴，
拉下磁头的Z轴请点击<下个> 按钮。
为了消除所有喷嘴手动低下头于Z轴'下一步'按钮，连接到头部。
2. 那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
3. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动贴装Calibration Tool后
请点击<下个>按钮。
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
5. 单击<Next>按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果
值。如果需要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
6. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。” 消
息。为了在磁头1号的
吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Camera setting对话框中确认。