DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第442页
14-72 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 10. 自动执行 Cali bration 后完成 Calibration 则如下图显示结果值， 请 点击 < 下个 > 按 钮。 1 1. 显示 ” 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动。 移动 后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了 在磁…
14-71
Machine Calibration
9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
14-72
Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。
12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从 Fly Camera2~ 10执行校正。 对所有
飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点击<
确定>按钮。
13. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后 ,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
14-73
Machine Calibration
点击 <下个> 按钮。
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA) (μm/pixel)
Scale X: 22.85 ~ 23.81
Scale Y: 22.85 ~ 23.81