DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第423页
14-53 Machine Calibration 7. 显示 ” 下一 步从头部移动吸嘴 1 。 点击 [ 下一步 ] 向下移动头部。 移动后 ， 手动移 出吸嘴。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架上手动除去 Calibration T ool 请点击 < 下个 > 按钮。 为了手动清除插入到 Head1 号吸嘴支撑架的吸嘴， 请点击 < 下个 > 按钮。 之后清 除 ANC 上的校正 T ool 。 …
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备 注 参考下列图请把校正 Tool正确放置到ANC的校正 Tool处。
5. 消息窗显示 “准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时, 点击<亮度> 按
钮后在 “亮度控制” 对话框中使’SMVision’窗口显示的 Calibration Tool上的
Fiducial Mark明显，调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。
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Machine Calibration
7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset对话框中确认。
备 注 Fiducial Camera Offset的校正基准值如下。
Gantry 1
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Offset X : -207 ~ -205 (mm)
Offset Y : -1.0 ~ 1.0 (mm)
Gantry 2
Offset X : 205 ~ 207 (mm)
Offset Y : -1.0 ~ 1.0 (mm)
下面是利用Fix Camera校准Camera Offset的过程。
1. 为了让平板用治具(Calibration Glass)位于SMVision窗口的十字线中心而调整平
板用治具(Calibration Glass)的位置。
2. 单击<Next>按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果
值。如果需要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
3. 可以在Head Offset对话框查看测量结果。