DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第420页
14-50 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 3. 如果基本坐标不是 ANC 的基准 标记， 则以手动方式示教坐标。 4. 按照下图所示步骤实行 Thermal Mapping 。 5. 需要把校准结果应用到设备时， 单击 <Update> 按钮。
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Machine Calibration
备 注 Fix Camera的校准基准值如下。
FOV 35mm (MEGA)
Scale X : 33.1 ~ 36.1(μm/pixel)
Scale Y : 33.1 ~ 36.1(μm/pixel)
FOV 45mm (MEGA)
Scale X : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale Y : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
FOV 35mm (一般)
Scale X : 71.9 ~77.9 (μm/pixel)
Scale Y : 71.9 ~77.9 (μm/pixel)
FOV 45mm (一般)
Scale X : 92.8 ~ 98.8 (μm/pixel)
Scale Y : 92.8 ~ 98.8 (μm/pixel)
14.3.8.4. Fix Camera Thermal Mapping
为了针对设备稼动后丝杆摩擦热所导致的XY坐标系的热变形进行补偿，需要针对
ANC上的一个Fiducial Mark进行示教。
1. 单击<8. Fix Cam. Thermal Org.>按钮。
2. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后单击<Move>按钮，确认基本坐标的位置是否
是ANC的基准标记。
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
3. 如果基本坐标不是ANC的基准标记，则以手动方式示教坐标。
4. 按照下图所示步骤实行Thermal Mapping。
5. 需要把校准结果应用到设备时，单击<Update>按钮。
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Machine Calibration
14.3.8.5. Camera Offset
测量基准相机的中心到各Gantry的第一个Head(Head 1, Head10)间的Offset。
只有完成了此过程，才能在以后校正中使用Auto Nozzle Change。本过程仅在
Manual Mode下执行。
校正基准相机的偏差。为校正基准相机的Offset必须先Fiducial Camera Scale
Calibration 。为执行校正必须使用平板Calibration Tool。
下面是 Fiducial Camera Offset的校正步骤。
1. 点击<9. Camera Offset> 按钮则在消息窗显示 “ 首先，我们必须把所有吸嘴手动
离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个> 按钮。
2. 那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
3. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动贴装Calibration Tool后
请点击<下个>按钮。
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
为了把基准相机移动到ANC顶面的校正 Tool位置，请点击<下个>。此时调整校
正Tool位置，使校正Tool中心的Fiducial Mark位于’SMVision’窗口的十字线中
心。