DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第455页
14-85 Machine Calibration 12. 完 成对 Gantry1 的校正后在 <Gantry> 组合框 中选择 ’Gantry2’ 以相同的方法执行 校正。 结果值可在 R Axis 对话框中确 认。 备 注 R- 轴偏移的校正 基准值如下。 Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大 （最小） 误差 Head1~Head6 : -0.5 ~ 0.5 (deg) Err Max(Min…
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8. Head从-360到360以5度为单位进行旋转的同时用飞行相机识别校正 Tool底面
的Fiducial Mark 2点。
9. 自动执行 Calibration后，完成校正则如下图显示结果值。
10. 按照Head 1的校正方法，对Head 2~ 6执行校正。
11. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。
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Machine Calibration
12. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在R Axis对话框中确认。
备 注 R-轴偏移的校正基准值如下。
Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.5 ~ 0.5 (deg)
Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大（最小）误差
Head1~Head6 : -0.2 ~ 0.2 (deg)
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14.3.8.13. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机(Fiducial Camera)中心与悬臂的Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时，先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 单击<16. Beam Offset>键，实行Beam Offset对话框。