DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第433页
14-63 Machine Calibration 去已帖装的所有吸嘴。 4. 显示 ” 下一 步， 将标准工具粘贴在头部 1 。 点击 [ 下一步 ] 向下移动。 移动后， 手动 粘贴工具到首部。 ” 消息。 在磁 头 1 号的吸嘴 支架上手动安装 CN400 吸嘴后请点 击 < 下个 > 按钮。 5. 显示 ” 移动 到中心位置校正工具。 移动， 点击 [ 下一步 ] 。 ” 6. 显示 ” 准备 标准。 对于标准， 点…
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
14.3.8.8. Head Offset Calibration
测量Gantry的基准相机中心到各Head中心的距离(XY Offset)。
为了给各Head的 XY Offset进行校正，作业前首先要确认Calibtation Tool是否在前
面ANC的Calibtation Tool位置上。
1: Calibration Tool Position
下面是 Head XY Offset的校正步骤。
1. .点击<准备吸嘴>按钮，在ANC2号孔中插入CN400吸嘴。
2. 2.选择<自动下一步> 校验框后，点击<12. Head Offset>按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行
下一个阶段。
点击<12. Head Offset>按钮消息窗显示”首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝
向。将Z轴调制低处，点击 [下一步]”消息。为手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，
拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
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Machine Calibration
去已帖装的所有吸嘴。
4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点
击 <下个> 按钮。
5. 显示”移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
6. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时,点击 <亮度>按钮，在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Ficucial Mark明
显为止调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
7. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴。 请点
击<下个>按钮。
8. 请按照对磁头1的校正方法，同样地从Head 2~ 6执行校正。
9. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定>按钮。
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10. <Gantry>组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行校正。
结果值可在Head Offset对话框中确认。