DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第457页
14-87 Machine Calibration 2. 选择需要校准的悬臂。 3. 示教工具选择 F id Cam2( 或 Fid Cam4) 后， 利用示 教框 (jog box) 把 X- Y 轴移动到 可以识别位置的领域 ( 可以利 用 SMV i sion 判别的地点 ) 。 4. 单击 <Get> 键， 把当前位置保存到 <T eaching Position> 。 5. 示教工具选择 Bea m1(…
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
14.3.8.13. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机(Fiducial Camera)中心与悬臂的Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时，先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 单击<16. Beam Offset>键，实行Beam Offset对话框。
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Machine Calibration
2. 选择需要校准的悬臂。
3. 示教工具选择Fid Cam2(或Fid Cam4)后，利用示教框(jog box)把X-Y轴移动到
可以识别位置的领域(可以利用SMVision判别的地点)。
4. 单击<Get>键，把当前位置保存到<Teaching Position>。
5. 示教工具选择Beam1(或Beam2)，然后利用示教框(jog box)移动到<Teaching
Position>位置。
6. 单击<Get>键，把当前位置保存到<Beam Position>。
7. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后，按照和Gantry1相同的方式实行校准。
8. 单击<Update>键保存设定值。
9. 结果值可以在System Setup菜单的Head Offset对话框查看。
10. 在<Gantry>组合框选择Gantry2后，按照和Gantry1相同的方式实行校准。
结果值可以在System Setup菜单的R Axis对话框查看。
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