DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第415页
14-45 Machine Calibration 5. 每个悬臂使用 2 个基准相机时， 单 击 <3. Other Fid. Camera Scale> 键后按照 同一方法实行校准 ( Calibration) 。 备 注 (Ref. / Other) 基准相机 (FOV7.5) 的校正基 准值如下 ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel) ScaleY : 13.0 ~ 17 .0 (μm/…
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。”消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。 这时，前面ANC的校正
Too1位置上放置校正Too1后，为了把基准相机移动到前面ANC的校正Too1
位置，请按<下个>按钮。
3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]”消息。此时，点击 <亮度> 后在 “
亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的
亮度后请点击<下个> 按钮。
4. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值
请点击<更新>按钮。
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Machine Calibration
5. 每个悬臂使用2个基准相机时，单击<3. Other Fid. Camera Scale>键后按照
同一方法实行校准(Calibration)。
备 注 (Ref. / Other)基准相机(FOV7.5)的校正基准值如下
ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)
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14.3.8.2. Fiducial Cameras Offset Calibration
测量Gantry的Ref. Fiducial Camera的中心与Other Fiducial Camera的中心之间的距
离。
1) 单击<Calibration Menu>领域的<4. Fid. Cameras offset>按钮。
2) 按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需
要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
3) 背面使用Fix Camera时，也和正面一样使用同一方法进行校准。
备 注 Other Fid. Camera的校准基准值如下。
Gantry 1
Offset X: -263 ~ -261 (mm)
Offset Y: -1 ~ 1 (mm)
Gantry 2
Offset X: 261 ~ 263 (mm)
Offset Y: -1 ~ 1 (mm)