DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第439页
14-69 Machine Calibration 14.3.8.9. Fly Camera Scale Calibration 测量飞行相机的标度 ( Scale) 。 为了执 行飞行相机的标度校正作业之前首先要确认校 正 T ool 是否在 ANC 的校正 T ool 处。 下面是 Fly-Camera Scale Cali bration 的校正 步骤。 1. 点击 < 准备 吸嘴 > 按钮， 在 ANC 2 号孔中插…
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6. 单击<Next>按钮自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果
值。如果需要适用Calibration值，则单击<Update>按钮。
7. 请按照对磁头 7的校正方法，同样地从Head 8~12执行校正。
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Machine Calibration
14.3.8.9. Fly Camera Scale Calibration
测量飞行相机的标度(Scale)。为了执行飞行相机的标度校正作业之前首先要确认校
正 Tool是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC 2号孔中插入CN400吸嘴。
备 注 利用Fix Camera实行Calibration时，把Calibration用吸嘴(CNT20)
插入ANC 1号Hole后实行Calibration。
2. 选择<自动下一步> 校验框后，点击<12. Fly Camera Scale> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行
下一个阶段。
点击<12. Fly Camera Scale>按钮则显示”首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝
向。将Z轴调制低处，点击 [下一步]”消息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么，磁头组件（Head Assembly）移动到设备指定的位置后，下降所有Z轴。此
时，请手动除去所有已安装的吸嘴。
4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
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粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点击
<下个>按钮。
5. 显示 “移动到中心位置工具摄像移动，点击[下一步]” 消息。为了把Head
Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击<下个>按钮。
6. 示”排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示” 准
备标准。
8. 对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞行相机
1”点击 <亮度>按钮，在” 亮度控制”对话框中SMVison显示的Calibration Tool上
的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。