DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第414页
14-44 Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator ’s Guide 1. 请点击 < 标准 菜单 > 领域的 < 2. Ref. Fid . Camera Scale> 按 钮 。 2. 点击 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮则在消息窗显示 “ 在 A NC 中设置调整工 具到特别工具位置 . 点击 …
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Machine Calibration
相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “8”号、Gantry 2时 Mark ID用 “9”号固
定。
2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教固定相机顶面的校正Too1中
心的Reference Fiducial Mark的位置。
3. 位置识别成功后显示如下的画面。正确示教Fiducial Mark的位置后，点击
<Update>按钮会适用变更值。
4. 对Gantry 2也用相同的方法执行校正.
<2. Ref. Fid. Camera Scale(3. Other Fid. Camera Scale)> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤
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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。”消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。 这时，前面ANC的校正
Too1位置上放置校正Too1后，为了把基准相机移动到前面ANC的校正Too1
位置，请按<下个>按钮。
3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]”消息。此时，点击 <亮度> 后在 “
亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的
亮度后请点击<下个> 按钮。
4. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值
请点击<更新>按钮。
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Machine Calibration
5. 每个悬臂使用2个基准相机时，单击<3. Other Fid. Camera Scale>键后按照
同一方法实行校准(Calibration)。
备 注 (Ref. / Other)基准相机(FOV7.5)的校正基准值如下
ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)