DECAN_L2_Admin(Chi_Ver6.4).pdf - 第443页

14-73 Machine Calibration 点击 < 下个 > 按钮。备注飞行相机的校正基准值为如下  FOV 25 (MEGA) (μ m/pixel) Scale X: 22.85 ~ 23. 81 Scale Y : 22. 85 ~ 23.81

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Advanced Multi-Functional Placer DECAN L2 Administrator’s Guide

10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按

钮。

11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,

用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击

<下个> 按钮。

12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从 Fly Camera2~ 10执行校正。对所有

飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点击<

确定>按钮。

13. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后 ,

用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请

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Machine Calibration

点击 <下个> 按钮。

备注飞行相机的校正基准值为如下

 FOV 25 (MEGA) (μm/pixel)

Scale X: 22.85 ~ 23.81

Scale Y: 22.85 ~ 23.81

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14.3.8.10. Fly Camera Offset Calibration

校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。为校正飞行相机中心和Head Spindle

中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head Z Offset Calibration 应该使用

特制的器具(Calibration Tool)。

使用Head的Reference Fiducial Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。

是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进

行设置。Default值为’Use’。

下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。

1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC2号孔中插入CN400吸嘴。选择<自动下一步>

校验框后，

备注利用Fix Camera实行Calibration时，把Calibration用吸嘴(CNT20)

插入ANC 1号Hole后实行Calibration。

2. 点击<14. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的Gantry自动执行校正。选择<没

有实际运动（手动）>校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，并点击<

下个>进入下一个阶段。不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任

何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点

击<下个>按钮才能执行下一个阶段。点击<14. Fly Camera Offset>按钮则显示”

首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消

息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个>按

钮。