3. SM411F_Administrators_Guide(Kor_Ver5).pdf - 第373页
12-61 Machine Calibration 메 모 Fly Camera 의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니 다 . FOV 16 ScaleX: 33.34~35.42 ( μ m/pixel) ScaleY : 33.34~35.42 ( μ m/pixel) FOV 16 (MEGA) ScaleX: 15.39~16.35 ( μ m/pixel) ScaleY : 15.39~16.35 ( μ m/p…
12-60
Samsung Component Placer SM411F/411FN Administrator
’
s Guide
9. “Next, Remove the Calibration Nozzle From Head 1. Click [Next] for Moving Down
Head. After Moving, Remove the Nozzle Manually.”라는 메시지를 나타냅니다. 헤
드 1번의 노즐 홀더에서 Calibration Tool을 수동으로 제거하기 위해서 <Next> 버
튼을 클릭하십시오.
10. Fly Camera 2번부터 6번까지도 Fly Camera 1번에 대해서 Calibration을 수행한
것과 동일한 방법으로 Calibration을 수행하십시오.
11. 모든 Fly Camera에 대해서 Calibration 절차가 정상적으로 완료되면 다음 그림과
같은 결과값을 보여줍니다.
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Machine Calibration
메 모 Fly Camera의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니다.
FOV 16
ScaleX: 33.34~35.42 (μm/pixel)
ScaleY: 33.34~35.42 (μm/pixel)
FOV 16 (MEGA)
ScaleX: 15.39~16.35 (μm/pixel)
ScaleY: 15.39~16.35 (μm/pixel)
12.3.10.6. Fly Camera Offset Calibration
Fly-Camera와Head Spindle중심간의 옵셋을 찾기 위해 수행하는 Calibration입니다.
‘Fly-Camera Offset Calibration’을 수행하기 위해서는 ‘Fly-Camera Scale
Calibration’과 ‘Head Z-Offset Calibration’ 이 선행되어야 하며, CNT20 노즐을 사
용하여야 합니다.
다음은 Fly-Camera의 Offset을 캘리브레이션하는 과정입니다.
1. <Nozzle Prepare> 버튼을 클릭하여 수동으로 ANC 1번 홀에 CNT20노즐을 삽입
하십시오.
<Automatic Next> 체크박스를 선택하고 <11. Fly Camera Offset> 버튼을 클릭하
면 자동으로 선택된 Gantry에 대해서 캘리브레이션을 수행합니다
<No Real Motion[Manual]> 체크박스를 선택하고 캘리브레이션을 수행하면 수동
으로 각 헤
드별로 노즐을 삽입하면서 <Next> 버튼을 클릭하여 다음 단계로 진행
합니다.
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Samsung Component Placer SM411F/411FN Administrator
’
s Guide
<Automatic> 또는 <Manual> 중 어느 체크박스도 선택하지 않고 캘리브레이션을
수행하면 현재 선택된 헤드에 대해서 자동으로 노즐을 교환하지만 <Next> 버튼
을 클릭하여 다음 단게로 진행합니다 .
2. <10. Fly Camera Offset> 버튼을 클릭하면 “First, We must Put all Nozzles From
Heads manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next].” 라는 메시지가 나타납니
다. 헤드에 장착되어 있는 모든 노즐을 수동으로 제거하기 위해서 헤드의 Z축을
하강시키려면 <Next> 버튼을 클릭하십시오.
3. 그러면, Head Assembly가 장비의 지정된 위치로 이동한 후, 모든 Z축을 하강합
니다. 이 때, 수
동으로 장착되어 있는 모든 Nozzle을 제거하십시오.
4. “Next Attach the Calibration Tool to Head 1. Click [Next] for Moving Down Head.
After Moving, Attach the Calibration Nozzle to head Manually.”라 는 메시지가 나타
납니다. 헤드 1번의 노즐 홀더에 CNT20 노즐을 수동으로 장착한 후, <Next> 버
튼을 클릭하십시오.
5. “Up to Align Height and Mirror Close, Click [Next].”라는 메시지가 나타납니다.
<Next> 버튼을 클릭하십시오.
6. 그러면, Head 1이Align(부품인식) 높이로 상승하고 Mirror가 닫힙니다. 그리고
메시지박스에 “Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].” 라는 메시지
가 나타납니다. 이 때, <T
arget Camera> 콤보박스에서 “Fly Cam1”을 선택하고,
<Light…> 버튼을 클릭하고 ‘Light Control’ 대화상자에서 ‘SMVision’ 창에서
보여지는 CNT20 노즐상의 Fiducial Mark가 선명하게 보이도록 조명의 밝기를
조정한 후 <Next> 버튼을 클릭하십시오.