3. SM411F_Administrators_Guide(Kor_Ver5).pdf - 第379页
12-67 Machine Calibration 8. 자동으로 Calibration 을 수행한 후 , Calibration 이 완료되 면 , 다음 그림과 같이 결 과값을 보여줍니다 . 9. Head 2 번에서 6 번까지도 Head 1 번에 대해서 Calibration 을 수행한 것과 동일한 방법으로 Calibration 을 수행하십시오 . 10. 모든 헤드에 대해서 Calibration 절차가…
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3. 그러면, Head Assembly가 장비의 지정된 위치로 이동한 후, 모든 Z축을 하강합
니다. 이 때, 수동으로 삽입되어 있는 모든 Nozzle을 제거하십시오.
4. “Next Attach the Callbration Tool to Head 1. Click [Next] for Moving Down Head.
After Moving, Attatch the Tool to head Manually.”라는 메시지가 나타납니다. 헤
드1번의 노즐홀더에 CNT20 노즐을 수동으로 삽입한 후, <Next> 버튼을 클릭하
십시오.
5. “Move To Center Position of [Fix1] Camera. To Move, Click [Next].” 나타납니다.
Fix1 Camera의 중심으로 Head Assembly를 이동하기 위하여 <Next> 버튼을 클릭
하십시오. 이 때 , <Target Camera> 콤보박스에서 “Fi
x1 Cam”을 선택하고 ,
<Light…> 버튼을 클릭하고 ‘Light Control’ 대화상자에서 ‘SMVision’ 창에서
보여지는 CNT20 노즐상의 Ficucial Mark가 선명하게 보이도록 조명의 밝기를
조정하십시오.
6. “Up to Align Height and Mirror Close. To Move, Click {Next}”라는 메시지가 나
타납니다. <Next> 버튼을 클릭하십시오.
7. 그러면, Head 1이Fly-Camera의 부품정렬 높이로 상승하고 Mirror가 닫힙니다.
그리고 메시지박스에 “Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].” 라는
메시지가 나타납니다. 이 때, <Light…> 버튼을 클릭하고 ‘Light Control’ 대화
상자에서 ‘SM
Vision’ 창에서 보여지는 CNT20 노즐상의 Fiducial Mark가 선명
하게 보이도록 조명의 밝기를 조정한 후 <Next> 버튼을 클릭하십시오.
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Machine Calibration
8. 자동으로 Calibration을 수행한 후, Calibration이 완료되면, 다음 그림과 같이 결
과값을 보여줍니다.
9. Head 2번에서 6번까지도 Head 1번에 대해서 Calibration을 수행한 것과 동일한
방법으로 Calibration을 수행하십시오.
10. 모든 헤드에 대해서 Calibration 절차가 정상적으로 완료되면 다음 그림과 같은
결과값을 보여줍니다. 장비에 Calibration 값을 적용하시려면 <Update> 버튼을
클릭하십시오.
11. 결과값은 System Setup메뉴의 Fly-Fix Offset대화상자에서 확인할 수 있습니다 .
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메 모 Fly to Fix Offset의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니다.
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니다.
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
12.3.10.8. R-Axis Offset Calibration
R축의 인식각도와 장착각도가 서로 다른 경우, R축의 오차를 Vision을 통해서 모두
보상하지 못 하기 때문에 장착 정도가 나빠집니다.
그러므로, R축의 Motion을 데이터로 하여 근사치를 보상함으로써 이런 오차를 최
소화하기 위하서 R-Axis Offset Calibration을 수행합니다.
이 캘리브레이션을 수행하기 위해선 CNT20 노즐을 사용하여야 합니다.
다음은 R-Axis Offset을 캘리브레이션하는 과정입니다.
1. <Nozzle Prepare> 버튼을 클릭하여 수동으로 ANC 1번 홀에 CNT20노즐을 삽입
하십시오.
<
Automatic Next> 체크박스를 선택하고 <13. R-Axis Offset> 버튼을 클릭하면 자
동으로 선택된 Gantry에 대해서 캘리브레이션을 수행합니다
<No Real Motion[Manual]> 체크박스를 선택하고 캘리브레이션을 수행하면 수동
으로 각 헤드별로 노즐을 삽입하면서 <Next> 버튼을 클릭하여 다음 단계로 진행
합니다.