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4. 生产 QD142-06 212 NXT II 系统手册 MEMO:
QD142-06 4. 生产
NXT II 系统手册 211
发生治具台的真空异常时
治具元件是通过治具台的真空被固定在具台上。因某种原因发生负压异常时，就会显示以下
的异常向导。
a. 请按下操作面板的 OK 按钮，拉出模组。
b. 如果治具台和治具元件的定位点上有污垢，请用干净的布擦去。如果治具台上附着了
异物，请擦去。清扫后，将治具元件安装到治具台上。
备注 )安装时，请注意不要使治具元件落下或遗失。
c. 请按下操作面板的 OK 按钮，插入模组。
d. 当按下 START 按钮后，机器就会重新开始混合校正。
关于通过辅助软件解除测定时的异常画面
在混合校正的测定时如果显示异常向导，如果不拉出模组就不能通过 READY ON 来解除异常。
根据机器的停止状态，如果不方便拉出模组时，能够通过辅助软件强制解除测定异常。
通过辅助软件的异常画面的解除方法请参照 "7.11.19 强制异常解除 "。
4. 生产 QD142-06
212 NXT II 系统手册
MEMO:
QD142-06 5. 换线
NXT II 系统手册 213
5. 换线
5.1 换线的必要项目
机器自我判断生产准备是否齐备。在启动机器后，当按下 START 按钮后，就会开始校正。必
要时显示换线向导画面。
请根据向导进行更换作业。需要进行多个更换作业时，当 1 个作业完成后，画面就会转换到
其他的更换向导画面。
当所有的更换作业完成后，机器再次返回到 START 等待的状态。