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3-1 1 3 2. 생산 을 종료하 고 전 원을 OF F 한다 기 판의생 산을종료 하 는방법에대 하 여설 명 합니 다 . 1 운 전을 중지합니다 . 운전 을중 지 하는방 법 에 는다음 의4 가 지 가있 습 니 다 . e 1 . E me rg en cysto p 버 튼  비 상 시 에사 용 합니 다 .평 상시 는사 용 하 지말아주십시 오 . 2. 「STOP 」…

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1.2.2 전의 시작
이 기능이 유로 되어 있을 때에 운전을 시하면 , 에러 메시가 한 번 표시됩니 .
메시지를 클리어 , 문제가 없면 운전을 재실행 해 주시오 .
블록스킵 확인 메시지
28309-L4-00
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2. 생산을 종료하고 전원을 OFF 한다
판의생산을종료는방법에대여설합니 .
1
전을 중지합니다 .
운전을중하는방는다음의4 가있 .
e
1. Emergencystop
에사합니 .평상시는사지말아주십시 .
2.「STOP」버 ( 오퍼션패 )
상정지버과같이무건운전이중단되 ,「START」버튼을누르면운전이재 .
3. [ 실장후정지 ] 버튼 ( )
현재의기판실장이완료되 ,장가정합니다 .
4. [ 반송후정 ] ( 작화면 )
현재컨이어에있는기판을생산하고종료시고싶은경우에사합니 .
에있는기판은모두실 ,반출되고상류측장비서기판이들어오지않습니 .
c
주의
자동운중에 ,비상정시이외에는비상정지버튼을누르지마십시 .
2
전을 리세트합니다 .
오퍼션패의「RESET」버튼을누르면 ,기판생산준상태로돌갑니 .
3
[ 전원 off] 버튼을 누니다 .
좌측의버리어서[ 원Off] 을눌러주십 .
[전원Off] 버튼
[전원Off] 버튼
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4
확인 대이 표시되면 , [ ] 버튼을 누니다 .
[예]를 누른다
전원OFF 확인 대화창
28307-L4-00
5
원점위치로의 이동을 합니다 .
동대화창이표시 ,[OK] 을눌러주십 .
6
전원 OFF 확인 대화이 표되면 , [OK] 버튼을 누니다 .
e
7
비상정지 버튼을 누니다 .
상정지대화창이표시 ,비상정지버튼을누르고 ,[OK] 을누릅니 .
8
장비의 전원스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에전원OFF허가표시 ,장비본체우측아래의전스위를왼으로돌려서OFF 로하
십시오 .
c
주의
순서를무 ,무리게전원스위치를OFF 면데이터와기기파손의원이됩 .