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3-23 3 3 .7 피 듀 셜 「기 판 , 블 록」, 「로컬 」, 「포 인 트 」등의 피듀 셜 인식 결 과 를 표시합니 다 . 모니터 : 피듀셜 듀얼 레인의 예 2 8 318 - L 4 - 10 • 보정값 X, Y , R 인식 결 과 ,기판데 이터입 력 값 과의비 교 를( + ) , ( - ) 로표시 합니 다 . • 보정값 상승 율 보정 값X,Y ,R 을이용 해서계 산한…
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3
3.6 RETRY( 재시도 )
과거 100 건의 에러 이력이 표시됩니다 .
모니터 : 재시도
28317-L 4-0 0
3-23
3
3.7 피듀셜
「기판 , 블록」, 「로컬」, 「포인트」등의 피듀셜 인식결과를 표시합니다 .
모니터 : 피듀셜
듀얼 레인의 예
28318-L4 -10
•
보정값 X, Y, R
인식결과 ,기판데이터입력값과의비교를(+),(-) 로표시합니다 .
•
보정값 상승율
보정값X,Y,R 을이용해서계산한기판신장율이표시됩니다 .
•
인식결과
「성공」또는「미완료」가표시됩니다 .실제로마크인식동작을해서인식이성공되면 ,「미완료」에서「성공」으로변합니
다.
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3.8 배드마크
「기판 , 블록」, 「로컬」등의 배드마크 인식결과를 표시합니다 .
모니터 : 배드마크
듀얼 레인의 예
28319-L 4 -10
•
X, Y
기판데이터입력값 ( 블록옵셋량고려 ) 을표시합니다 .
•
인식결과
실제로마크를인식한결과에따라서「OK」또는「NG」판단을합니다 .
OK: 배드마크인식에실패한경우 ,작업을하는것을의미합니다 .
NG: 배드마크인식에성공한경우 ,작업을하지않는것을의미합니다 .