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2-5 2 ■ 컨베 이어 관련 코드 에러 명 칭과 내 용 Ea000 7 0 기판반 송 에러 상태 컨베 이 어상에규 정 수량이상의기판이반입되었 습니 다 . 원인 기판 요 구신 호 를보내 지않았 음에도불구 하고 ,상류측에서기판이반입되었 습니 다 .또는이상기 판을검출했 습니 다. 대책 상류측 의반 출출구센서또는본장비의반입센서위 치조정및기 판검출센서입 …

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코드 에러 명칭과 내용
Ea00864
인터락 에러
상태
헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .Z 축이이동중이거나Z 축안전센서가
OFF 로되어있습니다 .
헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 헤드가내려와있거나또는센서가고장입니다 .
대책 수동으로Z 축을올려주십시오 .
Ea00865
인터락 에러
상태 노즐스테이션이하강단에없어서 ,X,Y 축의이동이불가능합니다 .
원인 노즐스테이션이상승되어있습니다 .노즐스테이션의하강단센서가반응하지않습니다 .
대책
수동모드로노즐스테이션을하강시킵니다 .노즐스테이션을내린상태에서I/O 모니터를확인해서 ,센서가반응하
지않으면센서를교환해주십시오 .
Ea00871
<<< 경고 센 서 이상 >>>
헤드의 상하동작이 이상합니다 . 아래의 원인일 수 있습니다 .
상태
-기판의고정이상
-흡착높이 ,장착높이이상
-하강단센서이상
-헤드하강밸브동작이상
-샤프트의변형
-하강시작후1 초이내에하강단에도달하지못함
원인
1기판면의위치가너무높아서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .
2장착높이 ,흡착높이의값이너무커서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .
3하강단센서의위치가나빠서센서의반응이안정되지않습니다 .
4헤드하강밸브내의피스톤의동작이둔합니다 .
5노즐샤프트가변형되어있어 ,헤드가상하동작하지않습니다 .
대책 상기의원인을찾아서해당원인을제거해주십시오 .
Ea00880
I/O 시퀀스 부품장착시 진공압체크 에러
상태
부품장착시에부압이충분하게내려가지않습니다 .부품을픽업한상태로돌아갔을가능성이있으므로 ,즉시노
즐과밸브등을확인하여주십시오 .이런상태로자동운전을계속하면 ,부품을흡착한상태로복귀하거나2 중탑
재등의트러블을일으킬가능성이있습니다 .
원인 부품장착시에부압이충분히내려가지않았습니다 .부품을흡착한상태로복귀했을가능성이있습니다 .
대책 ［장치］→「헤드」탭을열어서 ,즉시노즐이나밸브등을확인해주십시오 .
Ea0 2652
인터락 에러
상태
헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주
십시오 .
원인 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .
대책
헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .하강단센서를겸비한장비는헤드하강단센서의상태를확인해주
십시오 .
Ea0265 3
인터락 에러
상태 헤드의높이가위험한위치에있습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 원점복귀직후의헤드높이가위험한위치에있습니다 .
대책 헤드의Z 축현재위치가위험한높이에있지않은지확인해주십시오 .
Ea0290 6
노즐체인지상태 에러
상태
현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .
1노즐스테이션의센서상태
원인 현재장착되어있는ANC 노즐을특정할수없습니다 .
대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .
Ea 29528
인터락 에러
상태 스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .
원인 헤드가스캔카메라와간섭하는높이까지내려와있기때문에스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .
대책 리세트를실행하고작업을재실행하여주십시오 .
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■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00070
기판반송 에러
상태 컨베이어상에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .
원인
기판요구신호를보내지않았음에도불구하고 ,상류측에서기판이반입되었습니다 .또는이상기판을검출했습니
다.
대책
상류측의반출출구센서또는본장비의반입센서위치조정및기판검출센서입구스톱퍼센서를재조정해주십
시오 .
Ea00074
기판고정 에러
상태 기판반송유니트 ,로케이트핀 ,푸쉬업이정상적으로작동되지않습니다 .
원인 센서의위치조정불량 ,또는스피드컨트롤러를너무조여서동작이불안정합니다 .
대책 기판반송유니트의높이관계센서의동작을확인해주십시오 .
Ea00831
인터락 메인스톱퍼 상승
상태 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .메인스톱퍼를내려주십시오 .
원인 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .
대책 메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .
Ea00851
인터락 에러
상태 기판반송기의하강단센서가OFF 입니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 기판반송기가하강상태입니다 .또는센서에러입니다 .
대책 기판반송기의상하동작을확인해주십시오 .
Ea00852
인터락 에러
상태 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼중ON 되어있는센서가있습니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 센서불량 ,또는액츄에이터동작불량입니다 .
대책 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼등의동작을확인해주십시오 .
Ea 07 876
명령실행 불능
상태
서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보
푸쉬업을하강시킨후 ,다시명령을실행하여주십시오 .
원인 서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .
대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시키고나서 ,다시명령을실행하여주십시오
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■ 데이터 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00036
흡착경계값 에러
상태 흡착압력이기준치미달입니다 .인식후 ,부품이낙하했을가능성이있습니다 .
원인
흡착진공압의설정불량 ,또는부품이정확하게흡착되어있지않습니다 .부품의흡착위치좌표및흡착정도가
나쁩니다 .
대책 부품의흡착상태를안정시켜 ,보조조정에서흡착진공압의재조정을해주십시오 .
Ea 0 0267
피듀셜 FINE 수속 에러
상태
Fine 타입인식에있어서 ,보정위치가Fine 수속위치내로집결되지않았습니다 .Fine 수속위치는 ,장비데이터
에정의되어있습니다 .
원인 수속조건이너무엄밀합니다 .
대책 장비데이터에서수속조건을완화시키거나 ,일반피듀셜데이터를사용해주십시오 .
Ea00502
데이터 읽기 에러
상태 데이터읽기에실패했습니다 .
원인 파일에이상이있을가능성이있습니다 .
대책 해당데이터는읽어들일수없습니다 .백업해둔경우에는백업에서재복사해주십시오 .
Ea00503
기판데이터 에러
상태 기판데이터쓰기에실패했습니다 .
원인 디스크에이상이있거나 ,하드디스크의용량이꽉찼습니다 .
대책
우선 ,디스크의상태를확인 .파일수량등을확인하고 ,이상이있으면파일수량을줄이는등의대처를한다음 ,
재실행해주십시오 .
Ea02702
노즐스테이션 MACS 에러
상태
노즐스테이션MACS 의동작중에실패했습니다 .노즐스테이션MACS 에관한장비설정과 ,참조하고있는마크데
이터베이스가다르지않습니까 ?
원인 노즐체인지를실행하려고했을때 ,노즐스테이션MACS 의인식을실행했으나 ,마크의인식에실패했습니다 .
대책 스테이션MACS 의위치를정확하게설정해주십시오 .마크데이터베이스의번호를정확하게설정해주십시오 .
Ea30100
피더전송 미완료 에러
상태 헤드하강시에 ,피더를정확히전송하지못했습니다 .
원인
전송타이머에설정된시간이실제로전송가능한시간보다너무빠릅니다 .
돌발적인요인에의해 ,구동에시간이걸렸습니다 .
대책
전송동작의방해가되는요인이없는지확인해주십시오 .
빈번히발생하면 ,전송타이머를수정할필요가있습니다 .