DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第383页

14-19 Machine Calibration 14.3.2. 歪斜修正 Skew 意味着设备移动后对 Y1 和 Y2 轴 X 轴不形成垂直 状态, 补偿发生的歪斜。 这个 鼻息在设备的最初安装及移动后 执行。 对 Y 轴执行螺母补偿方法如下 ; 注 意 最初设备的安装及移动后, 执行初始化之前 必须执行 < 螺母补偿 > 。 否则设备驱动中可能会受到损伤。  首先, 把 X 机架手动移动到设备的中间部分。  请点击…

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重新校准后,原点位置会改变。如果不重新示教拾取位置、ANC
及贴装原点等与设备位置有关的项目,将导致设备动作异常。
从新校准后,必须重新示教与位置有关的项目。
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Machine Calibration
14.3.2. 歪斜修正
Skew意味着设备移动后对Y1Y2X轴不形成垂直状态,补偿发生的歪斜。 这个
鼻息在设备的最初安装及移动后执行。Y轴执行螺母补偿方法如下;
最初设备的安装及移动后,执行初始化之前必须执行 <螺母补偿
>否则设备驱动中可能会受到损伤。
首先,X机架手动移动到设备的中间部分。
请点击<歪斜修正>按钮。那么自动对Z轴执行初始化,Y1电动机旋转,到感知
Y Home传感器为止移动 X 机架, Home 传感器感知后,反方向移动相当于Y
移动距离后,再感知YHome传感器为止反方向移动。
然后如下图显示 Skew 信息,问是否适用该值。
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点击<(Y)>按钮,则按照适用的 Skew信息设备重新执行初始化。
14.3.3. 基准照相机测量
Calibration的大多是Fiducial Camera进行利用。因此首先要执行Fiducial camera周期
校正。
基准相机未进行校正时,剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。用校正 Tool进行Fidcial Camera
Scale 校正时,作业前要把校正 Tool放到ANC 校正 Tool 位置。