DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第431页
14-67 Machine Calibration 10. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图显示结果值， 请点击 < 下个 > 按 钮。 11 . 显示 ” 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动。 移动后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支 架手动除去 CN400 吸嘴请点击 < 下个 > 按钮。
14-66
Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击<下个>按钮。
6. 示”排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。
8. 对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞行相机
1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中SMVison显示的Calibration Tool上
的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击 <下个>按钮。
9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool 位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
14-67
Machine Calibration
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。
14-68
Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从Fly Camera2~ 10执行校正。 对所有
飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点击<
确定>按钮。
13. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)