DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第400页

14-36 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 8. 那么，基准相机移动到该 Fiducial Mark 位置。上升 Backup T able ，利用 T eachbox 点击 ’AXIS’ 按扭选择 XY ，使 Vi s i o n 上的十字线和 T ransport Rail Frame 一致，再点击 ’MODE’ 按扭，选择 Jog ，按住 …

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Machine Calibration

5. 请点击<边缘偏离度查找..>按钮

6. <站>目录框中选择要校对的Station。

7. 用鼠标选择参考点#1相应的<边偏移>编辑框，点击<移动相机>按扭。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide

8. 那么，基准相机移动到该Fiducial Mark位置。上升Backup Table，利用Teachbox

点击’AXIS’按扭选择XY，使 Vision 上的十字线和Transport Rail Frame一致，再

点击’MODE’按扭，选择Jog，按住 Y(+)方向移动按扭漫漫移动。

9. 如一致，点击示教盒的<Get>按扭。

10. 然后，用鼠标选择参考点#2相应的<边偏移>编辑框，点击<移动相机>按扭。

11. 用参考点#1的示教方法，同样地对参考点#2执行示教。

12. 对所选Station的Fiducial Mark完成示教，则用同样的方法对其他 Fiducial Mark

执行示教。

13. 2到12号的过程各Station要单独执行，请按如下的顺序执行：StationF1 ->

StationF2 → StationR2 → StationF3

F1_Ref#2

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Machine Calibration

F2_Ref#1

F2_Ref#2

F3_Ref#1

F3_Ref#2