DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第386页

14-22 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 2. 如果无法正确识别 Fiducial Mark 时请正确示教固定相机顶面的校正 T oo1 中心的 Reference Fiducial Mark 的位置。 3. 位置识别成功后显示如下的画面。正确示教 Fiducial Mark 的位置后，点击 <Update> 按钮会适用变更值。 4. 对 …

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Machine Calibration

位置校准试片

下面是用基准相机 Teaching 示教ANC顶面的校正Too1的 Reference Fiducial

Mark过程。

1. Mark设置是：选择 Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如下

的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动到

相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “7”号、Gantry 2时 Mark ID用 “8”号固

定。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide

2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教固定相机顶面的校正Too1中

心的Reference Fiducial Mark的位置。

3. 位置识别成功后显示如下的画面。正确示教Fiducial Mark的位置后，点击

<Update>按钮会适用变更值。

4. 对Gantry 2也用相同的方法执行校正.

 <2. Ref. Fid. Camera Scale(3. Other Fid. Camera Scale)> 按钮

为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。

下面是基准相机的校正步骤

1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮。

2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工

具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。”消息。为了把基准相机移动到

ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。这时，前面ANC的校正

Too1 位置上放置校正Too1后，为了把基准相机移动到前面ANC的校正Too1

位置，请按<下个>按钮。

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Machine Calibration

3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]”消息。此时，点击 <亮度 > 后在 “

亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的

亮度后请点击<下个> 按钮。