DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第441页
14-77 Machine Calibration 10. 请按照对磁头 1 的校 正方法， 从 Head 2~10 号执行校正。 对 所有磁头正常完成 Calibration 次序， 则如下图显示结果值。 11 . 完成对 Gantry1 的校正后在 <Gantry> 组合框中选择 ’Gantry2’ 以相同的方法执行 校正。 结果值可在 Fly-Fix Offset 对话 框中确认。
14-76
Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
9. 自动执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
14-77
Machine Calibration
10. 请按照对磁头 1的校正方法，从Head 2~10号执行校正。对所有磁头正常完成
Calibration 次序，则如下图显示结果值。
11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在Fly-Fix Offset对话框中确认。
14-78
Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
备 注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)