DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第388页

14-24 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 4. 自动执行 Calibration 后，结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值请点击 < 更新 > 按钮。 5. 每个悬臂使用 2 个基准相机时，单击 <3. Other Fid. Camera Scale> 键后按照同一方法实行校准 (Calibration) 。备注…

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Machine Calibration

3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]”消息。此时，点击 <亮度 > 后在 “

亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的

亮度后请点击<下个> 按钮。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide

4. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值

请点击<更新>按钮。

5. 每个悬臂使用2个基准相机时，单击<3. Other Fid. Camera Scale>键后按照

同一方法实行校准(Calibration)。

备注  Ref. Fid. Camera

 ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)

 ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)

 ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)

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Machine Calibration

14.3.4. Fiducial Cameras Offset Calibration

Gantry的Ref.这是测量从Fiducial Camera的中心至另一个Fiducial Camera中心之间

的距离的过程。仅在Gantry有2个Fiducial Camera时执行此过程。

以下是Fiducial Cameras Offset Calibration的校准过程。

1. 请点击<Calibration Menu>区域的 <Fid.Cameras offset>按钮。

2. 点击<Fid.Cameras offset>按钮后，先由Ref.Fiducial Camera移动至Fid.Scale Mark

Position中设置的标记位置，并对标记的中心位置进行识别。

3. 之后，另一个Fiducial Camera移动至Fid.Scale Mark Position中设置的标记位置，

并对标记的中心位置进行识别。

4. 执行并完成Calibration作业后，其结果值如下图所示。如想适用新的Calibration

值，请点击<Update>按钮。