DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第416页
14-52 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 6. 自动执行校正后 结束校正则如下图显示结果值。 要适用其校正 值请点击 < 更新 > 按钮。
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Machine Calibration
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
为了把基准相机移动到ANC顶面的校正 Tool 位置，请点击<下个>。此时调整校
正Tool位置，使校正Tool中心的Fiducial Mark位于’SMVision’窗口的十字线中
心。
备 注 参考下列图请把校正 Tool正确放置到ANC的校正 Tool 处。
5. 消息窗显示 “准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时, 点击<亮度> 按
钮后在 “亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的 Calibration Tool上的
Fiducial Mark明显，调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。
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Machine Calibration
7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset对话框中确认。
备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5)的校正基准值如下。
Gantry 1
Offset X: -263 ~ -261 (mm)
Offset Y: -10.3 ~ 10.3 (mm)
Gantry 2
Offset X: 261 ~ 263 (mm)
Offset Y: -10.3 ~ 10.3 (mm)