DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第425页
14-61 Machine Calibration 6. 显示 ” 准备标准。 对 于标准, 点击 [ 下一步 ]” 消息。 此时 , 点击 < 亮度 > 按钮, 在 ” 亮度控制 ” 对话框中 ’SMV ision’ 窗口 显示的 Calibration T ool 上的 Ficucial Mark 明 显为止调整照明亮度后点击 < 下个 > 按钮。 7. 自动执行 Calibration 后完成 Calibr…

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拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后,拉下所有Z轴。此时,请手动除
去已帖装的所有吸嘴。
4. 显示”下一步,将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后,手动
粘贴工具到首部。”消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点
击 <下个> 按钮。
5. 显示”移动到中心位置校正工具。移动,点击[下一步 ]。”

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Machine Calibration
6. 显示”准备标准。对于标准,点击[下一步]” 消息。此时,点击 <亮度>按钮,在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Ficucial Mark明
显为止调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值,请点击 <下个> 按
钮。
8. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴。 请点
击<下个>按钮。
9. 请按照对磁头1的校正方法,同样地从Head 2~ 10执行校正。

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10. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定>按钮。
11. <Gantry>组合框中选择Gantry2后,与Gantry1相同的方式执行校正。