DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第436页
14-72 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 8. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图显示结果 值， 请点击 < 下个 > 按 钮。 9. 显示 ” 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下 移动。 移动后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 Ca…
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Machine Calibration
粘贴工具到首部。” 消息。 在磁头1号的吸嘴槽上手动贴装CN400吸嘴后点击<
下个> 按钮。
5. 显示“排列高度上升，镜像关闭。移动，点击 [下一步]”消息。请点击<下个>按
钮。
6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>按
钮。
那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞
行相机1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中’SMVision’窗口 显示的
Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
7. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Offset。
之后用
飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点测量飞行相机的Scale值。
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8. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个> 按
钮。
9. 显示”下一步, 把校校正工具从 H1取下, 点击[下一步 ]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击<下个>按钮。
10. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~10执行校正。
11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
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Machine Calibration
备 注 Head-Fly Offset 的校正基准值如下。
(FOV 25 MEGA) [单位: X(mm) , Y (mm) , R (°) ]
Offset X: -0.60 ~ 0.60
Offset Y: -0.60 ~ 0.60
Offset R: -1.0 ~ 1.0