DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第385页
14-21 Machine Calibration 1: 位置校准试片 下面是用基准相机 T eaching 示教 ANC 顶面的校正 To o 1 的 Re ference Fiducial Mark 过程。 1. Mark 设置是 ： 选择 Gantry 后， 点击 <1. Fid. Scale Mark Position> 按钮出现如下 的画面时， 请点击 <4. 示教 > 领域 的 <Move>…
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
点击<是(Y)>按钮，则按照适用的 Skew信息设备重新执行初始化。
14.3.3. 基准照相机测量
Calibration的大多是Fiducial Camera进行利用。因此首先要执行Fiducial camera周期
校正。
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。用校正 Tool进行Fidcial Camera
Scale 校正时，作业前要把校正 Tool放到ANC的 校正 Tool 位置。
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Machine Calibration
1:
位置校准试片
下面是用基准相机 Teaching 示教ANC顶面的校正Too1的 Reference Fiducial
Mark过程。
1. Mark设置是：选择 Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如下
的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动到
相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “7”号、Gantry 2时 Mark ID用 “8”号固
定。
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2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教固定相机顶面的校正Too1中
心的Reference Fiducial Mark的位置。
3. 位置识别成功后显示如下的画面。正确示教Fiducial Mark的位置后，点击
<Update>按钮会适用变更值。
4. 对Gantry 2也用相同的方法执行校正.
<2. Ref. Fid. Camera Scale(3. Other Fid. Camera Scale)> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。”消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。 这时，前面ANC的校正
Too1 位置上放置校正Too1后，为了把基准相机移动到前面ANC的校正Too1
位置，请按<下个>按钮。