DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第432页
14-68 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 12. 请按照对 Fly Camera1 的校正方法， 同样地 从 Fly Camera2~ 10 执行校 正。 对所有 飞行相机正常完成校正次序如 下图显示结果值。 要在设备中适用校正值请点 击 < 确定 > 按钮。 13. 显示 ” 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向…
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Machine Calibration
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从Fly Camera2~ 10执行校正。 对所有
飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点击<
确定>按钮。
13. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
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Machine Calibration
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)