DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第384页
14-20 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 点击 < 是 (Y)> 按钮， 则按照适用的 Skew 信息设备重新执行初始化。 14.3.3. 基准照相机测量 Calibration 的大多是 Fiduci al Camera 进行利用。 因此首先要执行 Fiducial camera 周期 校正。 基准相机未进行校正时， 剩下的按钮不会被激 活。 …
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Machine Calibration
14.3.2. 歪斜修正
Skew意味着设备移动后对Y1和Y2轴X轴不形成垂直状态，补偿发生的歪斜。 这个
鼻息在设备的最初安装及移动后执行。对Y轴执行螺母补偿方法如下;
注 意 最初设备的安装及移动后，执行初始化之前必须执行 <螺母补偿
>。否则设备驱动中可能会受到损伤。
首先，把X机架手动移动到设备的中间部分。
请点击<歪斜修正>按钮。那么自动对Z轴执行初始化，Y1轴电动机旋转，到感知
Y Home传感器为止移动 X 机架， Home 传感器感知后，反方向移动相当于Y轴
移动距离后，再感知Y轴Home传感器为止反方向移动。
然后如下图显示 Skew 信息，问是否适用该值。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
点击<是(Y)>按钮，则按照适用的 Skew信息设备重新执行初始化。
14.3.3. 基准照相机测量
Calibration的大多是Fiducial Camera进行利用。因此首先要执行Fiducial camera周期
校正。
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。用校正 Tool进行Fidcial Camera
Scale 校正时，作业前要把校正 Tool放到ANC的 校正 Tool 位置。
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Machine Calibration
1:
位置校准试片
下面是用基准相机 Teaching 示教ANC顶面的校正Too1的 Reference Fiducial
Mark过程。
1. Mark设置是：选择 Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如下
的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动到
相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “7”号、Gantry 2时 Mark ID用 “8”号固
定。