DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第430页
14-66 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide Assembly 移动到 AN C 上的 Calibrration T ool 位置， 请点击 < 下个 > 按钮。 6. 示 ” 排列高度上升， 镜像关闭。 移动， 点击 [ 下一步 ]” 消息。 请点击 < 下个 > 按 钮。 7. 那么， 磁头 1 上升到飞行相机的 Align 高度， 关闭…
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Machine Calibration
14.3.11.5. Fly Camera Scale Calibration
测量飞行相机的标度(Scale)。为了执行飞行相机的标度校正作业之前首先要确认校
正 Tool 是否在前面ANC的校正 Tool 处。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC 1号孔中插入CN400吸嘴。
2. 选择<自动下一步> 校验框后，点击<10. Fly Camera Scale> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行
下一个阶段。
以下说明是关于假设通过勾选 <没有实际运动（手动）>选择框进行手动校正的
情况。
点击<10. Fly Camera Scale>按钮则显示”首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝
向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么，磁头组件（Head Assembly）移动到设备指定的位置后，下降所有Z轴。此
时，请手动除去所有已安装的吸嘴。
4. 显示”下一步，
将标准工具粘贴在头部1。点 击 [下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。”消息。在磁头1的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点击
<下个>按钮。
5. 显示 “移动到中心位置工具摄像移动，点击[下一步]” 消息。为了把Head
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击<下个>按钮。
6. 示”排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。
8. 对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞行相机
1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中SMVison显示的Calibration Tool上
的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击 <下个>按钮。
9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool 位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
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Machine Calibration
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。