DECAN_S2_Administrator′s_Guide(Chi_Ver4.6)_Web.pdf - 第440页
14-76 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide 9. 自动执行校正后 。 结束 校正则如下图显示结果值。
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Machine Calibration
4. 显示 “将Z轴移至低处…请等一会.” 消息。 在磁头1号的吸嘴槽上手动贴装
CN400吸嘴后点击<下个>按钮。
5. 显示 “调整工具移动到中心位置。移动，点击[下一步].” 消息。 为了把Head
Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击<下个>按钮。
6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭移动，点击[下一步]” 消息。 请点击 <下个>按
钮。
7. 那么, Head 1上升到飞行相机的 Align 高度，关闭 Mirror。还有在消息窗显示 ”准
备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息 。 此时点击<亮度>后在 “亮度控制”对
话框中’SMVision’窗口显示的 Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整
照明亮度后点击<下个>按钮。
8. 校正首
先旋转45度校正 Tool的同时用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool位于ANC顶面的校正 Tool位置后，用基准相机识别
校正 Tool 上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick旋转90度放置于此位置后，用基准相机识别校正 Tool上面的
Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0度、90
度、180度、270度的四个方向。
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9. 自动执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
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Machine Calibration
10. 请按照对磁头 1的校正方法，从Head 2~10号执行校正。对所有磁头正常完成
Calibration 次序，则如下图显示结果值。
11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在Fly-Fix Offset对话框中确认。