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BM231 操作手册 5.1 启动方法 ( 电源 ON) E35OCC-20- 012-A0 5.1-1 5.1. 启动方法(电源 ON ) E35OCC-20-012-A 0 设备的启动方法有以下 2 种。 全部启动 当所有电源都处于 OFF 状态时,用这种方法进行启动 。 从所有电源都变为 ON 到可以进行生产,大约需要 3 分钟 。 高速启动 只有设备动作系统处于 OFF 状态时,使用这种方法进 行启动。 电源变为 ON …

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操作手册
5. 启动与结束
E35OCC-20-002-A0
5-2
E35OCC-20-002-A0
5. 启动与结束
在本章中对设备的启动方法和结束方法进行了说明。

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5.1 启动方法(电源 ON)
E35OCC-20-012-A0
5.1-1
5.1. 启动方法(电源 ON)
E35OCC-20-012-A0
设备的启动方法有以下 2 种。
全部启动
当所有电源都处于 OFF 状态时,用这种方法进行启动。
从所有电源都变为 ON 到可以进行生产,大约需要 3 分钟。
高速启动
只有设备动作系统处于 OFF 状态时,使用这种方法进行启动。
电源变为 ON 到可以进行生产,大约需要 1 分钟。
通常情况下,建议使用这种方法。
5.1.1 启动的操作
全部启动操作步骤
在高速启动的情况下,进行步骤 5 以后的操作。
步骤 操作 结果、参考图 等
1.
打开气阀(SUP)
=提示= 1
2.
确认气压为 0.40 ~ 0.43 MPa
=提示= 1
3.
确认无软盘
=注意= 1
4.
主电源开关设为 ON
大约 120s 后
显示‘Start wait’(启动等待)画面
: 亮灯 : 闪烁 : 熄灯
1.,2.
4.
3.
5.
=提示= 1
用钥匙孔锁定
气压的调整

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5.1 启动方法(电源 ON)
E35OCC-20-012-A0
5.1-2
步骤 操作 结果、参考图 等
5.
按下 ON 开关。
显示’ Self-diagnosis’(自我诊断)画面。
== 发生错误时参照’ Ope. / 排除故障’。
6.
显示‘Production’(生产)画面。
在上一次 OFF 下选择程序时,而且开始条件在没有错误的情况下,运转模式以’AUTO’ (自动)开始。
开始条件有错误时。
=提示= 2
在上一次 OFF 下没有选择程序时,运转模式以‘MANU’(手动) 开始。
=提示= 3
=注意= 1
在插入软盘的情况下,有可能会无法正常启动或破坏数据。
=提示= 2
在工作台部进行基板矫正时,搬送原点变为 NG,以‘MANU’(手动) 开始。
继续生产该基板时:
请将运转模式切换成’AUTO’(自动)开始运转。
取消该基板的生产时:
请将基板取出。
==关于基板搬送的使用方法,请参照“Ope. / 各种功能 / 轴动作 / 基板搬送的使用方法”。
=提示= 3
程序选择作业是必要的。
==请参照‘Ope. / 生产步骤 / 机种切换’。