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BM231 操作手册 5.1 启动方法 ( 电源 ON) E35OCC-20- 012-A0 5.1-2 步骤 操作 结果、参考图 等 5. 按下 ON 开关 。 显示 ’ Self -diagnos is’ （自我 诊断）画面。 = = 发生错误时参 照 ’ Ope. / 排除故障 ’ 。 6. 显示‘ Production ’（生产）画面。 在上一次 OFF 下选择程序时， 而且开始条件在 没有错误的情况下， 运转模 式以 …
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操作手册
5.1 启动方法(电源 ON)
E35OCC-20-012-A0
5.1-1
5.1. 启动方法（电源 ON）
E35OCC-20-012-A0
设备的启动方法有以下 2 种。
全部启动
当所有电源都处于 OFF 状态时，用这种方法进行启动。
从所有电源都变为 ON 到可以进行生产，大约需要 3 分钟。
高速启动
只有设备动作系统处于 OFF 状态时，使用这种方法进行启动。
电源变为 ON 到可以进行生产，大约需要 1 分钟。
通常情况下，建议使用这种方法。
5.1.1 启动的操作
全部启动操作步骤
在高速启动的情况下，进行步骤 5 以后的操作。
步骤 操作 结果、参考图 等
1.
打开气阀(SUP)
=提示= 1
2.
确认气压为 0.40 ~ 0.43 MPa
=提示= 1
3.
确认无软盘
=注意= 1
4.
主电源开关设为 ON
大约 120s 后
显示‘Start wait’(启动等待)画面
: 亮灯 : 闪烁 : 熄灯
1.,2.
4.
3.
5.
=提示= 1
用钥匙孔锁定
气压的调整
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5.1 启动方法(电源 ON)
E35OCC-20-012-A0
5.1-2
步骤 操作 结果、参考图 等
5.
按下 ON 开关。
显示’ Self-diagnosis’（自我诊断）画面。
== 发生错误时参照’ Ope. / 排除故障’。
6.
显示‘Production’（生产）画面。
在上一次 OFF 下选择程序时，而且开始条件在没有错误的情况下，运转模式以’AUTO’ （自动）开始。
开始条件有错误时。
=提示= 2
在上一次 OFF 下没有选择程序时，运转模式以‘MANU’（手动） 开始。
=提示= 3
=注意= 1
在插入软盘的情况下，有可能会无法正常启动或破坏数据。
=提示= 2
在工作台部进行基板矫正时，搬送原点变为 NG，以‘MANU’（手动） 开始。
继续生产该基板时：
请将运转模式切换成’AUTO’（自动）开始运转。
取消该基板的生产时：
请将基板取出。
==关于基板搬送的使用方法，请参照“Ope. / 各种功能 / 轴动作 / 基板搬送的使用方法”。
=提示= 3
程序选择作业是必要的。
==请参照‘Ope. / 生产步骤 / 机种切换’。
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5.2 结束方法（电源 OFF）
E35OCC-20-022-A0
5.2-1
5.2. 结束方法（电源 OFF）
E35OCC-20-022-A0
设备结束的方法与启动相同，有 2 种方法。
全部结束
将全部电源关闭（OFF）的方法。
到结束处理完成，大约需一分钟左右。
高速结束
只关闭设备动作系统（OFF）的方法。
到结束处理完成，大约需 15 秒。
通常情况下建议使用这种方法。
5.2.1 结束操作
生产结束
在生产进行中，结束生产。
如果按下主操作盘的“L. STOP”（L.停止），程序将执行到最后，排出基板并停止。
=注意=
如果用<EOP>使其停止，在工作台上的残留基板将不被搬出。
全部结束的操作步骤
高速结束的情况下，只执行步骤 2。
步骤 操作 结果、参考图等
1.
确认没有软盘。
=注意= 1
2.
按下 OFF 按钮。
显示启动等待画面。
: 亮灯 : 闪烁 : 熄灯
5.
1.
2.
3.