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Index User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Edition 04/2018 140

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User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Index
Edition 04/2018
139
T
Tag out procedure
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
Technical data
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61
Temperature range
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62
Tool support
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .70
Training
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29, 59
Transformer
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .67
U
USB connection
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
Use as prescribed
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13, 36
user interface
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
User manual
Contents and storage
. . . . . . . . . . . . . . . . . .31
important notes
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
V
Vacuum cap
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76
W
Wafer camera
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68, 71
Wafer changer
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77
Wafer changer system
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77
Wafer foil
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70, 76
Wafer locking bar
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73
Wafer map file
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21
Wafer support
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68, 72, 73
Wafer table
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72
Warning labels
W201
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W204
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W206
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39
W210
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39, 41
Warning labels on the SIPLACE Wafer System
.38
Weight and surface load
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
Weight of SIPLACE Wafer System
. . . . . . . . . . .83
X
X unit
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .66
Index User manual SIPLACE Wafer System (SWS)
Edition 04/2018
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