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User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Contents Edition 04/2018 7 6 Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105 6.1 Nozzle changer . . . . .…
Contents User manual SIPLACE Wafer System (SWS)
Edition 04/2018
6
4.1.2.2 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84
4.1.2.3 Means of transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84
4.1.3 Transporting the SWS without a crate or pallet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.2 Means of transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.3 Fork lift attachment points on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
4.1.3.4 Points to be observed while transporting the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
4.2 Infrastructure at the installation location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.1 Weight and surface load. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.2 Compressed air supply to SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3 Mains power supply to the SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3.1 Danger notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3.2 Checking the mains power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88
4.2.4 Removing the transport locks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.5 Removing the corrosion protection from the guide rails. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.6 Power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
5 SWS tasks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5.1 Filling the magazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5.2 Inserting the magazine into the magazine lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .92
5.2.1 Swiveling the magazine up and closing it. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .92
5.3 Setting up the needle configuration for the ejector system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .93
5.3.1 Setting the needle with the calibration standard 03098221-xx. . . . . . . . . . . . . . . .95
5.4 Checking and configuring the tools and nozzles on the flip unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
5.5 Checking the reject bin of the flip unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98
5.6 Refilling components at the SWS with the Wafer Changer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98
5.7 Shift changeover tasks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
5.8 Changing the Setup on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
5.9 Controls and displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.9.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.9.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
5.9.3 Ergonomic arrangement of controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.3.1 Controls on the control panels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.10 Switching on and off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.10.1 Switching the SWS on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.10.2 Switching the SWS off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.11 The user interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Contents
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6 Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
6.1 Nozzle changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
6.1.1 Position of nozzle changers - example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
6.2 Optional components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2.1 Linear Dipping Unit (LDU SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2.2 Die attach unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
6.2.3 Barcode scanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.3 SWS wafer stretcher (expander) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
6.3.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
6.3.2 Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
6.3.3 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
6.3.4 Setting the stretching height mechanically. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.4.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.4.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
6.3.5 Setting the frame width for 8" wafer supports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.5.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.5.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
6.3.6 Converting the SWS wafer stretcher (expander) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.6.1 Parts in the 12" wafer expander retrofit kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
6.3.6.2 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
6.3.6.3 Removing the 8" wafer support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
6.3.6.4 Differences in conversion from 12" to 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
7 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
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