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动作说明书 5-4 5-1-2 POSITION 控制板 POSITION 控制板经由 SSCNET Ⅲ （三菱电机制造的控制通信网络），是与控制伺服电动机的 CPCI 总线对应的电路板。控制最多 32 轴的电动机。 ① 接受来自 CPU 电路板的指令，控制 XYZ θ 伺服电动机。 ② 进行各轴的原点传感器及限位传感器的检测。 ③ 进行伺服驱动器的报警检测、磁尺的报警检测。 ④ 进行紧急停止的检测，使 XY 轴、 Z θ 轴停止。 5…
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表5-1-1-1 CPU基板的主要规格
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5-1-2 POSITION 控制板
POSITION 控制板经由 SSCNETⅢ（三菱电机制造的控制通信网络），是与控制伺服电动机的 CPCI
总线对应的电路板。控制最多 32 轴的电动机。
① 接受来自 CPU 电路板的指令，控制 XYZθ 伺服电动机。
② 进行各轴的原点传感器及限位传感器的检测。
③ 进行伺服驱动器的报警检测、磁尺的报警检测。
④ 进行紧急停止的检测，使 XY 轴、Zθ 轴停止。
5-1-3 IEEE1394A 板
IEEE1394A 板通过 IEEE1394a-2000 规格的通信，是与控制 LNC60 的 CPCI 对应的电路板。并且还
经过该板卡向 LNC60 进行电源供给。
5-1-4 ETHERMAIN 基板
ETHERMAIN 基板与 CompactPCI（以下简称 CPCI）总线相连接，控制其和配置在各装置中的下列基
板的串行通讯。
HEAD MAIN 基板、XY RELAY 基板、BASE I/O 基板、FEEDER 基板、LIGHT CTRL 基板
5-1-5 ETHERSLAVE 基板
作为 XY RELAY 转运基板、BASE I/O 基板、FEEDER 基板、LIGHT CTRL 基板的插入主板的小型接
口基板，进行和 ETHERMAIN 基板的串行通讯。每个已连接基板都要通过 DIIPSW 设置不同的 MAC
地址。
5-1-6 XY RELAY 基板
① 对紧急停止开关、限制传感器进行检测，切断伺服电源。
② 对紧急停止开关、限制传感器、近距离传感器进行检测，POSITION 基板。
③ 把输入操作基板的信号读入，把从操作基板中输出的信号发出。
④ 把原电压检知传感器、负压检知传感器读入。
⑤ 输出 CVS 的信号。
⑥ 实装有保存 M/S 参数的 Flash ROM。
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5-1-7 BASE I/O 基板
① 进行 IN、OUT、WAIT、C.OUT、STOP、T-PIN、BU-PIN、BU 原点、宽度调整原点、BU-LOCK
等各传感器的读入。
② 驱动限动器、外形-Y、VCS、BU-LOCK 的电磁阀。
③ 驱动 BU 电动机、CENT 电动机、传送电动机（L）、传送电动机（R）、自动宽度调整电动机。
④ 进行 BU 编码器、自动宽度调整编码器的读入。
⑤ 具有 MTC/MTS 的各路 I/F。
⑥ 实装有 SMEMA I/F 的电路。
5-1-8 FEEDER 基板
① 驱动 ATC 的开闭电磁阀。并进行确认传感器的读入。
② 进行送料器浮起传感器、送料器检测传感器的读入。（与机械及电动式送料器对应）
③ 进行台架上升传感器及驱动气缸上升传感器的读入。
④ 控制校准台的 LED 的亮灯及真空 ON/OFF。
⑤ 进行真空校准传感器的读入。
⑥ 能够驱动 80pin 的机械式送料器。并进行 READY 信号、BUSY 信号及阻塞信号的 READ/WRITE。
⑦ 利用 CAN 通信进行与 80pin 电动式送料器的 I/F。
⑧ 进行空气压力传感器（主压：加压压力、真空压力）的读入。
5-1-9 HEAD MAIN 基板
① 驱动真空及吹气用电磁阀。
② 进行以真空传感器检测的真空压力数据的读入。
③ 进行点传感器的模拟数据的读入。
④ 进行 Z 轴减速传感器的读入。
⑤ 向 Zθ 轴伺服放大器输出 Z 轴的减速传感器状态。
⑥ 进行与 HMS 的 I/F。
⑦ 进行左右 OCC 图像的切换。
⑧ 进行 OCC 照明的光量调整。
⑨ 驱动 Head 提升气缸用的电磁阀。
⑩ 控制坏板标记传感器的 ON/OFF。并进行判定结果的读入。
5-1-10 温度传感器基板
通过基板上安装的温度传感器检测保护气的温度，把与温度成比例的电压向 HEAD MAIN 基板输出。
基板安装在 Head 板上，其用途是监视因温度变化而引起的座架的膨张和收缩。