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动作说明书 3-8 3-2-2-1 支撑台电动机 支撑台的上升速度能从高速 · 中速 · 低速 · 低速 2 中选择。 支撑台的上升速度被设定为低速 · 低速 2 时，夹紧的预备进给动作也自动地变成低速 2 （ 14mm/s ）。 并且，控制方法在上升时为时间固定，在下降时为加速度固定。 各速度档次中的速度控制方式如下表所示。 ・ 支撑台上升速度配置 速度 行程 方式 移动时间 最高速度 加速度 / 减速度 (mm/s) (pps) (…
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3-7
3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
机械行程 59mm
④原点高度位置
Ｂ(原点传感器 ON 方向)
Ａ(原点传感器 OFF 方向)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②机械上方限制位置
①： 下方向的机械限制高度
②： 上方向的机械限制高度
③： 在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升 52.5 ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶ 生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从 5mm 起 40mm 的范围，以１ mm 单位进行设定。
违反的基板下限制为 40 ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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3-8
3-2-2-1 支撑台电动机
支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·低速 2 中选择。
支撑台的上升速度被设定为低速·低速 2 时，夹紧的预备进给动作也自动地变成低速 2（14mm/s）。
并且，控制方法在上升时为时间固定，在下降时为加速度固定。
各速度档次中的速度控制方式如下表所示。
・ 支撑台上升速度配置
速度 行程 方式 移动时间
最高速度 加速度/减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
高速
5
加速度固定
- 16.675 667 56.0 2222
50
时间固定
600 166.675 6667 556.0 22222
-
梯形驱动
- 166.675 6667 556.0 22222
中速
5
加速度固定
- 10.425 417 22.0 869
50
时间固定
960 104.175 4167 217.0 8681
-
梯形驱动
- 104.175 4167 217.0 8681
低速
5
加速度固定
- 9.250 370 17.0 686
50
时间固定
1080 92.575 3703 171.0 6859
-
梯形驱动
- 92.575 3703 171.0 6859
低速 2
5
加速度固定
- 4.628 185 4.285 171
50
时间固定
2160 46.287 1852 42.85 1714
-
梯形驱动
- 46.287 1852 42.85 1714
・ 支撑台下降速度配置
速度 行程 方式 移动时间
最高速度 加速度/减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
高速
50
加速度固定 －
166.675 6667 556.0 22222
－ 台形駆動 －
166.675 6667 556.0 22222
－ － － － － － －
中速
50
加速度固定 －
104.175 4167 217.0 8681
－ 台形駆動 －
104.175 4167 217.0 8681
－ － － － － － －
低速
50
加速度固定 －
92.575 3703 171.0 6859
－ 台形駆動 －
92.575 3703 171.0 6859
－ － － － － － －
低速 2
50
加速度固定 －
46.287 1852 42.85 1714
－ 台形駆動 －
46.287 1852 42.85 1714
－ － － － － － －
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3-9
3-2-3 基板夹紧时的程序
基板夹紧时的程序如下所示。
根据支撑台上升速度，准备进给动作如下表所示。
支撑台
上升速度
传送
减速距离
(mm)
准备进给
时间 (ms)
准备进给
减速时间
(ms)
准备进给
最高速度
(mm/s)
准备进给
距离
(mm)
总准备进给
距离
(mm)
高速
20.0 400 100 56 23.85 43.85
中速
20.0 400 100 56 23.85 43.85
低速
20.0 1650 100 14 23.70 43.70
低速 2
20.0 1650 100 14 23.70 43.70
传送速度
STOP 传感器 ON 检测
减速距离
减速时间
准备进给速度
准备进给距离
准备进给时间
总准备进给距离
支撑台上升时间
基板夹紧时间
准备进给减速时间
支撑台上升等待时间