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动作说明书 5-8 各轴（ XL 、 YL 、 YR ）驱动器的控制，采用三菱运动控制系统，即 SSCNET Ⅲ ，以光 50Mbps 的通信 速度进行 0.44ms 周期的电动机控制。 控制时， X 轴 Y 轴都利用全闭环控制驱动，外部编码器采用分辨率为 1 μ m 的磁性标尺。 Y 轴驱动使用 YL 电动机、 YR 电动机， 电动机的控制以 YL 电动机为主动轴，以 YR 电动机为从动轴， 在同一的控制指令下进行工作。 来自磁性标尺…
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5-7
5-2 马达的控制方式
5-2-1 XY 轴的控制方式
X、Y ｓ轴均由 2 台电动机进行串联驱动，控制采用全闭环控制方式，进行元件贴装头的移动控制。
X 轴及 Y 轴的控制组成图如图 5-2-1-1。
图 5-2-1-1
位置运动控制板
CH1
CH2
CPCI
接口
磁尺
检测头
X 轴
放大器
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
编码器输出
ABZ 相
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
检测头
YR 轴
放大器
UVW 相驱动输出
磁尺
编码器输出
ABZ 相
编码器输出
（三菱串行）
检测头
YL 轴
放大器
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
磁尺
编码器输出
ABZ 相
动作说明书
5-8
各轴（XL、YL、YR）驱动器的控制，采用三菱运动控制系统，即 SSCNETⅢ，以光 50Mbps 的通信
速度进行 0.44ms 周期的电动机控制。
控制时，X 轴 Y 轴都利用全闭环控制驱动，外部编码器采用分辨率为 1μm 的磁性标尺。
Y 轴驱动使用 YL 电动机、YR 电动机，电动机的控制以 YL 电动机为主动轴，以 YR 电动机为从动轴，
在同一的控制指令下进行工作。
来自磁性标尺的位置信息，是 YL 侧和 YR 侧各自拥有，被输入到各电机驱动器。YL、YR 的微小偏移
通过原点复归动作校正。
5-2-2 Z，θ 轴的控制方式
Z、θ 轴的电动机控制采用半闭环控制方式，在 Z 轴是进行元件的贴装及吸取等上下动作，在 θ 轴是进
行元件激光识别及角度校正等旋转动作。
Z 轴及 θ 轴的控制组成图如图 5-2-2-1。
各 4 轴 1 体驱动器的控制，采用三菱运动控制系统，即 SSCNETⅢ，以光 50Mbps 的通信速度进行
0.88ms 周期的电机控制。
4 轴一体式驱动器放大器（MR-MD200）是每 1 个放大器连接 2 台 θ 电动机、2 台 Z 电动机。
KE-3010A/3010AC 中实装有 3 个驱动器放大器，进行 12 轴驱动。KE-3020V/3020VR 中实装有 4 个
驱动器放大器，进行 14 轴驱动。
（LNC60 轴: θ 电动机 6 台、Z 电动机 6 台、IC 轴: θ 电动机 1 台、Z 电动机 1 台）
SSCNETⅢ
光通信
4 轴 1 体
放大器
MR-MD200
*A
图 5-2-2-1
位置运动控制板
CH1
CH ２
CPCI
接口
SSCNETⅢ
光通信
4 轴 1 体
放大器
MR-MD200
*A
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
θ 电动机
UVW
相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
Z 电动机
UVW
相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
θ 电动机
UVW
相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
Z 电动机
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5-9
5-2-3 基板传送部的控制方式
① 传送中央电动机、传送 L 电动机、传送 R 电动机
进行基板传送的传送中央电动机、传送 L 电动机、传送 R 电动机，是通过使用部进电动机进行定
速控制。
② 支撑台马达
进行支撑台的上下移动的 BU 马达，用步进马达和变换器进行控制定位。
③ 基板传送宽度自动调整马达
传送基板时自动进行调整的基板传送宽度自动调整马达，用步进马达和变换器进行控制定位。