KE-3010A_动作说明书.pdf - 第25页

动作说明书 3-10 3-2-4 基板传送同步时间图 1 ） 支撑台上升速度：高速 2 ） 支撑台上升速度：中速 INｾﾝｻ WAIT ｾﾝｻ STO Pｾﾝ ｻ INﾓｰ ﾀ ｾﾝﾀﾓ ｰﾀ ｻﾎﾟｰﾄ ﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ 100ms ｾﾝﾀｰ ｽﾄ ｯﾊﾟ 外形基 準 (Xﾌ ﾟｯｼｬ ） 100ms 100ms 動作時間 600ms 400ms 予備送り ( 距離：43.85mm ） (20mm ) ( 1.5mm + 19.3mm…

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动作说明书
3-9
3-2-3 基板夹紧时的程序
基板夹紧时的程序如下所示。
根据支撑台上升速度，准备进给动作如下表所示。
支撑台
上升速度
传送
减速距离
(mm)
准备进给
时间 (ms)
准备进给
减速时间
(ms)
准备进给
最高速度
(mm/s)
准备进给
距离
(mm)
总准备进给
距离
(mm)
高速
20.0 400 100 56 23.85 43.85
中速
20.0 400 100 56 23.85 43.85
低速
20.0 1650 100 14 23.70 43.70
低速 2
20.0 1650 100 14 23.70 43.70
传送速度
STOP 传感器 ON 检测
减速距离
减速时间
准备进给速度
准备进给距离
准备进给时间
总准备进给距离
支撑台上升时间
基板夹紧时间
准备进给减速时间
支撑台上升等待时间
动作说明书
3-10
3-2-4 基板传送同步时间图
1） 支撑台上升速度：高速
2） 支撑台上升速度：中速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基
準
(Xﾌﾟｯｼｬ
）
100ms 100ms
動作時間
600ms
400ms
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
XY軸
生産開始位置へ移動
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间
支撑板电动机
中央止动器
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
動作時間
200ms
动作时间
外形基准（Y 推杆）
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ）
100ms 100ms
動作時間
960ms
400ms
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
XY軸
生産開始位置へ移動
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
430ms
動作時間
動作時間
200ms
360ms
760ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
向生产开始位置移动
动作时间
支撑板电动机
中央止动器
外形基准（Y 推杆）
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间
动作说明书
3-11
3） 支撑台上升速度：低速
4） 支撑台上升速度：低速 2
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
100ms
100ms
動作時間
1080ms
1650ms
予備送り ( 距離　43.7mm）
XY軸
(0.7mm)
(0.1mm +　22.9mm)
770ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
生産開始位置へ移動
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
480
ms
動作時間
430ms
動作時間
200ms
400ms
880ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
向生产开始位置移动
动作时间
支撑板电动机
中央止动器
外形基准（Y 推杆）
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
100ms
100ms
動作時間
2160ms
1650ms
予備送り ( 距離　43.7mm）
XY軸
(0.7mm)
(0.1mm +　22.9mm)
770ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
生産開始位置へ移動
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
1560ms
動作時間
430ms
動作時間
200ms
400ms
1960ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
向生产开始位置移动
动作时间
支撑板电动机
中央止动器
外形基准（Y 推杆）
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间