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动作说明书 3-32 3-5-4 θ 轴的速度比，加速度比 3-5-4-1 θ 轴速度方式 θ 轴按照下图的三角或台形驱动动作。 θ 轴的最高速度和最高加速度如下。 LNC ， IC θ 轴最高速度 1000 kpps θ 轴最高加速度 60000 kpps 2 转动角 : θ 最高角速度 :  max 角加速度 : β 时， Speed Time   0 T1 T   <   max 2 W he n th e c…

100%1 / 115
动作说明书
3-31
HC (20mm)/EC (25mm)
Z-IC A C E F H I J
[I] [0] [2] [4] [5] [7] [8] [9]
吸附下降
(XY PWB)
吸附上升
(PWB XY)
吸附上升
(PWB LA)
识别下降
(XY VCS)
贴装下降
(LA VCS)
贴装下降
(LA XY)
贴装上升
(VCS XY)
[m] [n] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1]
[0]
高速
速度比
HC/EC 100.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 85.00 ― 100.00 ― 100.00 ―
加速度比
HC/EC 25.25 ― 100.00 ― 100.00 ― 2.130 ― 17.68 ― 38.80 ― 50.00 ―
减速度比
HC/EC 25.25 ― 100.00 ― 100.00 ― 2.130 ― 17.68 ― 38.80 ― 50.00 ―
[1]
中速
速度比
HC/EC 100.00 100.00 100.00 100.00 100.00 100.00 ― ― ― ― 100.00 ― 50.00 ―
加速度比
HC/EC 26.51 9.58 40.00 50.00 40.00 50.00 ― ― ― ― 5.90 ― 25.00 ―
减速度比
HC/EC 26.51 9.58 40.00 50.00 40.00 50.00 ― ― ― ― 5.90 ― 25.00 ―
[2]
低速
速度比
HC/EC 100.00 100.00 100.00 50.00 100.00 50.00 ― ― ― ― 100.00 ― 50.00 ―
加速度比
HC/EC 26.51 2.09 5.00 50.00 5.00 50.00 ― ― ― ― 5.90 ― 25.00 ―
减速度比
HC/EC 26.51 2.09 5.00 50.00 5.00 50.00 ― ― ― ― 5.90 ― 25.00 ―
[3]
低速 2
速度比
HC/EC 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 ― ― ― ― 5.00 ― 5.00 ―
加速度比
HC/EC 10.00 2.09 5.00 10.00 5.00 10.00 ― ― ― ― 5.90 ― 10.00 ―
减速度比
HC/EC 10.00 2.09 5.00 10.00 5.00 10.00 ― ― ― ― 5.90 ― 10.00 ―
[4]
高速 2
速度比
HC/EC 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― ― ― ― ― 100.00 ― 100.00 ―
加速度比
HC/EC 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― ― ― ― ― 38.80 ― 50.00 ―
减速度比
HC/EC 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― ― ― ― ― 38.80 ― 50.00 ―
[5]
护罩
开放
速度比
HC/EC 100.00 ― 50.00 ― 50.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 25.00 ―
加速度比
HC/EC 3.09 ― 5.00 ― 5.00 ― 0.95 ― 7.85 ― 5.90 ― 10.00 ―
减速度比
HC/EC 3.09 ― 5.00 ― 5.00 ― 0.95 ― 7.85 ― 5.90 ― 10.00 ―
Z-IC L M N P S
其他
[I] [11] [12] [13] [15] [18] [19]
识别上升
(VCS LA)
识别上升
(XY LA)
贴装下降
(XY PWB)
贴装下降
(LA PWB)
贴装上升
(PWB LA)
其他动作
[m] [n] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1] [0] [1]
[0]
高速
速度比
HC/EC 100.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 85.00 ― 100.00 ― 100.00 ―
加速度比
HC/EC 50.00 ― 100.00 ― 25.58 ― 40.90 ― 100.00 ― 100.00 ―
减速度比
HC/EC 50.00 ― 100.00 ― 25.58 ― 40.90 ― 100.00 ― 100.00 ―
[1]
中速
速度比
HC/EC 50.00 ― 50.00 ― 100.00 100.00 85.00 100.00 100.00 100.00 50.00 ―
加速度比
HC/EC 25.00 ― 5.00 ― 13.83 3.70 22.50 3.70 30.00 50.00 50.00 ―
减速度比
HC/EC 25.00 ― 5.00 ― 13.83 3.70 22.50 3.70 30.00 50.00 50.00 ―
[2]
低速
速度比
HC/EC 50.00 ― 50.00 ― 100.00 100.00 85.00 100.00 100.00 50.00 25.00 ―
加速度比
HC/EC 25.00 ― 5.00 ― 11.20 1.33 18.20 1.33 5.00 50.00 25.00 ―
减速度比
HC/EC 25.00 ― 5.00 ― 11.20 1.33 18.20 1.33 5.00 50.00 25.00 ―
[3]
低速 2
速度比
HC/EC 5.00 ― 5.00 ― 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 ―
加速度比
HC/EC 10.00 ― 5.00 ― 10.00 1.33 10.00 1.33 5.00 10.00 10.00 ―
减速度比
HC/EC 10.00 ― 5.00 ― 10.00 1.33 10.00 1.33 5.00 10.00 10.00 ―
[4]
高速 2
速度比
HC/EC 100.00 ― 100.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ―
加速度比
HC/EC 50.00 ― 100.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ―
减速度比
HC/EC 50.00 ― 100.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ― 120.00 ―
[5]
护罩
开放
速度比
HC/EC 25.00 ― 50.00 ― 100.00 ― 100.00 ― 50.00 ― 10.00 ―
加速度比
HC/EC 10.00 ― 5.00 ― 3.13 ― 7.01 ― 5.00 ― 10.00 ―
减速度比
HC/EC 10.00 ― 5.00 ― 3.13 ― 7.01 ― 5.00 ― 10.00 ―
动作说明书
3-32
3-5-4 θ 轴的速度比，加速度比
3-5-4-1 θ 轴速度方式
θ 轴按照下图的三角或台形驱动动作。
θ 轴的最高速度和最高加速度如下。
LNC，IC
θ 轴最高速度
1000 kpps
θ 轴最高加速度
60000 kpps
2
转动角: θ
最高角速度: max
角加速度: β 时，
Speed
Time
0 T1 T
<
max
2
When the conditions shown to the
left are satisfied, the triangle drive is
made.
-axis movement time calculation formula
In case of triangle drive
T
= 2
时为三角驱动
速度
时间
Θ轴移动时间的计算式
三角驱动时
转动角小或角加速度小时峰值角都有可能达不到最高速度。
此时的速度方式为图的三角驱动。
Speed
Time
0
T
max
时间
速度
0 T1
T2 T
max
Speed
Time
-axis movement time calculation formula
In case of trapezoidal drive
T =
max
max
2
When the conditions shown to the
left are satisfied, the trapezoidal drive
is made.
max
时为台形驱动
速度
时间
Θ轴移动时间的计算式
台形驱动时
动作说明书
3-33
(1) θ 轴动作速度·加速度
激光测定时的 θ 轴转速和加速度
LA 测定中
高速 中速度 低速 低速 2
LNC-HEAD
角速度(kpps) 720 372 200 －
对高速比(%) 72 37.2 20 －
角加速度(kpps2) 30000 5316 1536 －
对高速比(%) 50 8.86 2.56 －
IC-HEAD
角速度(kpps) 720 372 200 －
对高速比(%) 72 37.2 20 －
角加速度(kpps2) 30000 5316 1536 －
对高速比(%) 50 8.86 2.56 －
激光测定外的 θ 轴动作速度·加速度
LA 测定外
高速 中速度 低速 低速 2
LNC-HEAD
角速度(kpps) 1000 600 200 100
对高速比(%) 100 60 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
对高速比(%) 100 50 2 1
IC-HEAD
角速度(kpps) 1000 600 200 100
对高速比(%) 100 60 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
对高速比(%) 100 50 2 1
中心 VCS 时 θ 轴动作速度·加速度
VCS
高速 中速度 低速 低速 2
LNC-HEAD
角速度(kpps) 500 500 200 100
对高速比(%) 50 50 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
对高速比(%) 100 50 2 1
IC-HEAD
角速度(kpps) 500 500 200 100
对高速比(%) 50 50 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
对高速比(%) 100 50 2 1
(注) 不吸附元件时的转速·加速度适用 LA 测定外。
(2) 轴其他动作
原点复位的 轴转速·加速度规定如下。
原点复位时的速度·加速度与护罩开放，护罩关闭无关。
原点复位
LNC-HEAD
角速度(kpps) 200
对高速比(%) 20
角加速度(kpps2) 1200
对高速比(%) 2
IC-HEAD
角速度(kpps) 200
对高速比(%) 20
角加速度(kpps2) 1200
对高速比(%) 2
(注) 不吸附元件的适用低速。
步骤移动时的速度和加速度规定如下。
步骤移动时的速度和加速度与护罩开放，护罩关闭无关。
步骤
高速 微速
LNC-HEAD
角速度(kpps) 250 100
对高速比(%) 25 10
角加速度(kpps2) 15000 9000
对高速比(%) 25 15
IC-HEAD
角速度(kpps) 250 100
对高速比(%) 25 10
角加速度(kpps2) 15000 9000
对高速比(%) 25 15