KE-3010A_动作说明书.pdf - 第20页
动作说明书 3-5 3-2 基板传送 1. 传送Ｌ马达（步进马达） 2. 传送中心马达（步进马达） 3. 传送Ｒ马达（步进马达） 4. 传送Ｌ传感器 5. WAIT 传感器 6. STOP 传感器 7. C ･ OUT 传感器 8. 传送Ｒ传感器 9. 止动器 10. 支撑台电动机（步进马达） 11. 支撑台原点传感器 Ａ １ １ ３ ３ ２ ２ ４ ５ ６ ９ ７ ８ １０ １１
动作说明书
3-4
3-1-2 支撑台原点复归动作
支撑台原点复归的过程如下所示。
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
动作说明书
3-5
3-2 基板传送
1. 传送Ｌ马达（步进马达）
2. 传送中心马达（步进马达）
3. 传送Ｒ马达（步进马达）
4. 传送Ｌ传感器
5. WAIT 传感器
6. STOP 传感器
7. C･OUT 传感器
8. 传送Ｒ传感器
9. 止动器
10. 支撑台电动机（步进马达）
11. 支撑台原点传感器
Ａ
１
１
３
３２
２
４
５
６ ９ ７ ８
１０
１１
动作说明书
3-6
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN 马达 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON｡
2)IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON｡
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
4) 从 IN 缓冲向中心缓冲过度经 6 秒之后也不结束｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
中心缓冲异常 1)中心马达连续转动 6 秒钟以上｡
2) C･OUT 传感器 ON，STOP 传感器 OFF->ON｡
3) 从中心向 OUT 缓冲过度经 6 秒之后也不结束｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
OUT 缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动｡
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON｡
3) 从 ReadyIN(ON)信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
支撑台错误 1) 在支撑台电动机上升结束时 T･PIN 传感器启动(以孔为基准时)｡
其他 1) 步进电动机错误
2) 支撑台电动机动作故障
3-2-1 传送电动机
如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。
传送方向 左→右 右→左
基准 身前 里侧 身前 里侧
电动机旋转方向 正转
CCW CW CW CCW
反转
CW CCW CCW CW
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。
并且，通过参数设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。
252μm/脉冲，各速度分类值如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速
400 1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
高速
300 1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速
230 913 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速
130 515 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 1
56 222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 2
14 55 1008.0 4,000 1008.0 4,000