KE-3010A_动作说明书.pdf - 第19页
动作说明书 3-4 3-1-2 支撑台原点复归动作 支撑台原点复归的过程如下所示。 向机台上方凸凹移动 （传感器Off方向) 向机台下方向S tep移动 （传感器On方向） on START 原点传感器 原点传感器ＯＮ 检测零相 END off on on off 殊霞 向机台下方向凸凹移动 （传感器On 方向） 原点传感器ＯＮ off 检测
动作说明书
3-3
接触式原点复归
<各轴原点复归前的预备动作>
轴 预备动作的内容
X，Y 如果在近点限位开关上，则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动，
在近点限位开关变为 OFF 处停止 jog。
Z
无特别的动作。
θ
当无条件地进行原点复归动作时，如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多，
则以爬行速度寻找 Z 相需要非常长的时间。进行的预备动作是，为了缩短
这一时间而以高速寻找 Z 相，使原点复归开始点位于 Z 相附近。
马达速度
ST（运转启动）
TL（扭矩控制）
JOG（JOG 运转方式）
ZRN（原点复归方式）
ZP（原点复归结束）
TLC（扭矩限制工作中）
原点
限动器
动作说明书
3-4
3-1-2 支撑台原点复归动作
支撑台原点复归的过程如下所示。
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
动作说明书
3-5
3-2 基板传送
1. 传送Ｌ马达（步进马达）
2. 传送中心马达（步进马达）
3. 传送Ｒ马达（步进马达）
4. 传送Ｌ传感器
5. WAIT 传感器
6. STOP 传感器
7. C･OUT 传感器
8. 传送Ｒ传感器
9. 止动器
10. 支撑台电动机（步进马达）
11. 支撑台原点传感器
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