KE-3010A_动作说明书.pdf - 第103页
动作说明书 5-5 5-1-7 BASE I/O 基板 ① 进行 IN 、 OUT 、 WAIT 、 C.OUT 、 STOP 、 T-PIN 、 BU-PIN 、 BU 原点、 宽度调整原点、 BU-LOCK 等各传感器的读入。 ② 驱动限动器、外形 -Y 、 VCS 、 BU-LOCK 的电磁阀。 ③ 驱动 BU 电动机、 CENT 电动机、传送电动机（ L ）、传送电动机（ R ）、自动宽度调整电动机。 ④ 进行 BU 编码器、自…
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5-1-2 POSITION 控制板
POSITION 控制板经由 SSCNETⅢ（三菱电机制造的控制通信网络），是与控制伺服电动机的 CPCI
总线对应的电路板。控制最多 32 轴的电动机。
① 接受来自 CPU 电路板的指令，控制 XYZθ 伺服电动机。
② 进行各轴的原点传感器及限位传感器的检测。
③ 进行伺服驱动器的报警检测、磁尺的报警检测。
④ 进行紧急停止的检测，使 XY 轴、Zθ 轴停止。
5-1-3 IEEE1394A 板
IEEE1394A 板通过 IEEE1394a-2000 规格的通信，是与控制 LNC60 的 CPCI 对应的电路板。并且还
经过该板卡向 LNC60 进行电源供给。
5-1-4 ETHERMAIN 基板
ETHERMAIN 基板与 CompactPCI（以下简称 CPCI）总线相连接，控制其和配置在各装置中的下列基
板的串行通讯。
HEAD MAIN 基板、XY RELAY 基板、BASE I/O 基板、FEEDER 基板、LIGHT CTRL 基板
5-1-5 ETHERSLAVE 基板
作为 XY RELAY 转运基板、BASE I/O 基板、FEEDER 基板、LIGHT CTRL 基板的插入主板的小型接
口基板，进行和 ETHERMAIN 基板的串行通讯。每个已连接基板都要通过 DIIPSW 设置不同的 MAC
地址。
5-1-6 XY RELAY 基板
① 对紧急停止开关、限制传感器进行检测，切断伺服电源。
② 对紧急停止开关、限制传感器、近距离传感器进行检测，POSITION 基板。
③ 把输入操作基板的信号读入，把从操作基板中输出的信号发出。
④ 把原电压检知传感器、负压检知传感器读入。
⑤ 输出 CVS 的信号。
⑥ 实装有保存 M/S 参数的 Flash ROM。
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5-1-7 BASE I/O 基板
① 进行 IN、OUT、WAIT、C.OUT、STOP、T-PIN、BU-PIN、BU 原点、宽度调整原点、BU-LOCK
等各传感器的读入。
② 驱动限动器、外形-Y、VCS、BU-LOCK 的电磁阀。
③ 驱动 BU 电动机、CENT 电动机、传送电动机（L）、传送电动机（R）、自动宽度调整电动机。
④ 进行 BU 编码器、自动宽度调整编码器的读入。
⑤ 具有 MTC/MTS 的各路 I/F。
⑥ 实装有 SMEMA I/F 的电路。
5-1-8 FEEDER 基板
① 驱动 ATC 的开闭电磁阀。并进行确认传感器的读入。
② 进行送料器浮起传感器、送料器检测传感器的读入。（与机械及电动式送料器对应）
③ 进行台架上升传感器及驱动气缸上升传感器的读入。
④ 控制校准台的 LED 的亮灯及真空 ON/OFF。
⑤ 进行真空校准传感器的读入。
⑥ 能够驱动 80pin 的机械式送料器。并进行 READY 信号、BUSY 信号及阻塞信号的 READ/WRITE。
⑦ 利用 CAN 通信进行与 80pin 电动式送料器的 I/F。
⑧ 进行空气压力传感器（主压：加压压力、真空压力）的读入。
5-1-9 HEAD MAIN 基板
① 驱动真空及吹气用电磁阀。
② 进行以真空传感器检测的真空压力数据的读入。
③ 进行点传感器的模拟数据的读入。
④ 进行 Z 轴减速传感器的读入。
⑤ 向 Zθ 轴伺服放大器输出 Z 轴的减速传感器状态。
⑥ 进行与 HMS 的 I/F。
⑦ 进行左右 OCC 图像的切换。
⑧ 进行 OCC 照明的光量调整。
⑨ 驱动 Head 提升气缸用的电磁阀。
⑩ 控制坏板标记传感器的 ON/OFF。并进行判定结果的读入。
5-1-10 温度传感器基板
通过基板上安装的温度传感器检测保护气的温度，把与温度成比例的电压向 HEAD MAIN 基板输出。
基板安装在 Head 板上，其用途是监视因温度变化而引起的座架的膨张和收缩。
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5-1-11 操作基板
① 进行开始、停止等操作 SW 状态的读入。并进行 LED（ORIGIN、SERVO FREE）的亮灯、熄灯
的驱动。
② 把机罩打开开关、SERVO FREE 开关及紧急停止开关等的状态通知 XY RELAY 基板。
③ 进行信号照明（三色）亮灯、熄灯的驱动。并进行蜂鸣器的驱动。
④ 进行 HOD 信号的中继。
5-1-12 IP-X7 基板
本基板是图像处理基板，对 OCC、VCS 相机拍摄的基板标记、IC 标记、IC 芯片等的图像数据进行处
理，算出基板位置修正、元件位置修正所必需的值。
由具有 CPCI 总线并主要进行图像处理的 IP-X7 BASE 基板和适合 KE-3020/KE3020R 之图像构成的 I/F
控制板:IP-X7 SUB 基板构成。
5-1-13 LIGHT CTRL 基板
本基板用于控制设置在座架上的 VCS 装置的各种照明的亮灯、熄灯以及进行光量调节。
并且，选择高解像度照相机选项时，进行照明位置切換气缸的驱动及位置检测传感器的读入。
5-1-14 SCM3 基板
本基板用于对元件定心用的传感器（FMLA）进行控制及演算。与主机 CPU 的 I/F 是通过 RS232C 进
行。与传感器的连接，则通过包括电源供应在内的同轴电缆，进行专用的串行通信。
而且，用于测量元件位置的 θ 电动机的编码器信号是从 Zθ 驱动器输入。