TR7500_Series_Software_ch-v5-0-0.pdf - 第382页
Test Research Inc. 370 TRI 7500 Series User Gu ide – Software PASS FAIL 參數 設定 Group Index – 群組編號。同一元件內有相同編號的視為一組，考慮同一組有可能 跨 不 同的 FOV ，所以使用 Group Index 來連 結。舉 例來說 ，如果同一元件內新增 六 個 CalDistance 檢測框，那正常 狀 況下 grou…
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TRI7500SeriesUserGuide–Software 369
Direction – 抓垂直的邊設為 Vertical，抓水平的邊設為 Horizontal。此屬性有連動關
係。當一對 Caliper Pair 的其中一個被設為 Horizontal後，另一個會自動設為
Vertical。
Corner – 設定抓 BGA 的哪一個角，如圖中所示即為 BGA的 RightTop。此屬性有
連動關係。當一對 Caliper Pair 的其中一個被設為 LeftTop後，另一個也會自動設
為 LeftTop。
X Shift、Y Shift – X、Y shift 的 Pass Level，shift（um）量超過此設定值為不良，
反之為通過。
4.10.2.15 CalDistance
可選擇兩種方法進行，[Distance]或[Angle]。選擇[Distance]，可量測兩個一組的檢測
框的邊距，選擇[Angle]可量測單一檢測框內找到邊的角度。
1) Distance
以成對的檢測框來檢測兩個邊的距離。可應用在檢測金手指間的距離。
設定方式－在 Train視窗下，使用[增加 1個框(Add 1 Box)]並選擇[CalDistance]時，可
增加一個[CalDistance]檢測框，重複此步驟再增加一個[CalDistance]，這兩個框即成
為一組[CalDistance]檢測框。調整完位置及參數後，選擇兩個檢測框，按下[Train]。
系統會紀錄現在同一組檢測框兩個邊的距離。當距離的位移量在設定的範圍內時，檢
測結果為通過。
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370 TRI7500SeriesUserGuide–Software
PASS FAIL
參數設定
Group Index – 群組編號。同一元件內有相同編號的視為一組，考慮同一組有可能
跨不同的 FOV，所以使用 Group Index 來連結。舉例來說，如果同一元件內新增六
個 CalDistance 檢測框，那正常狀況下 group Index會自動被設為 1、1、2、2、
3、3。
Edge Number – 邊的個數。如圖中所示只需抓取一個邊，故設為 1。若需抓取兩個
邊的中心值，則設定為 2。
Direction – 抓垂直的邊設為 Vertical，抓水平的邊設為 Horizontal。
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TRI7500SeriesUserGuide–Software 371
Edge Type – 選取要抓取的邊是上白下黑，還是上黑下白（左右亦同）。
Shift – 位移量的門檻值（絕對值）。超過此值為 FAIL，反之為 PASS。
如下圖所示，將[Edge Number]設為 2，可以抓兩個邊的中線。而圖中最上面的要抓取
的邊是上白下黑，所以[Edge Type]設為 Top/Left Bright。此一應用，就可以抓取邊到
邊的距離、邊到縫隙中點的距離、縫隙到縫隙的距離。